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磁控溅射镀膜机

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标签: 广东省采购 磁控溅射镀膜机 创普
更新时间 2018-10-28 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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单位信息
  • 竞价单位: 华南师范大学
  • 电话: ***********
  • 联系手机: ***********
  • *-****:******@*.****.***.**
  • 联系人: 王幸福
  • 传真:*
  • 邮编:******
竞价信息
  • 竞价主题:磁控溅射镀膜机
  • 发布日期:****/**/** **:**:**
  • 最高限价(元): 已隐藏
  • 送货要求: 签订合同后 ** 天送货。
  • 竞价编号:****************
  • 截止日期:****/**/** **:**:**
  • 开票单位:华南师范大学
  • 送货地址: 广东省广州市天河区,华南师范大学
备注
附件
产品信息
  • 详情
  • 序号
  • 产品名称
  • 品牌
  • 型号
  • 标配
  • 产品类别
  • 单位
  • 数量
  • *
  • 磁控溅射镀膜机
  • 创普
  • **-***
  • 其他货物
  • *.**
  • 保修期: **个月 产品规格: *、设备可完成各种单层膜、多层膜和共溅射生长混合膜的制备。提供溅射各种铁磁材料(****)、硬质膜(***等)、金属膜(**、**、**、**、**、**等)、金属氧化物(****、***、***、***等)的镀膜工艺。 *、真空室为立式圆柱形腔体,电动上开盖或前开门结构;腔体尺寸:约Φ***(**)×****(**);前开门配观察窗(含防污板);镀膜室所有焊缝连接均采用氩弧焊接技术;镀膜室进行内表面抛光,外表面电解处理。 *、溅射室极限真空度:≤*.****^-***(经烘烤除气后);系统真空检漏漏率:≤*.****-***.*/*。 *、系统从大气开始抽气:溅射室**分钟可达到*.****-***;系统停泵关机**小时后真空度:≤***。 *、高真空泵为国际知名品牌高性能分子泵,抽速不小于****/*;低真空泵为双极旋片泵,抽速不小于**/*;高真空阀门*英寸插板阀全套;其它气动阀门全套。 *、基片尺寸:*英寸或在*英寸的范围内分成若干个小基片;基片温度:室温-***℃,温控表控温,控温精度±*℃,可控可调;基片公转由调速电机驱动,*-**转/分,连续可调。 *、溅射室中配有*套高性能永磁磁控靶,磁控靶配有旋转气动挡板结构,可以实现自动开关靶挡板。并可以监测膜厚;靶与样品距离:****~*****。 *、*台****全自动匹配射频电源和*台****数字式直流电源。 *、气体流量控制:两路工艺气体(氩气和氧气),采用流量计控制,最大流量*******,集成到主控系统控制。 **、在*英寸基片上采用直流溅射生长*****的金属材料和在*英寸基片上、在射频靶位上采用射频溅射生长*****的***、****, 要求镀膜不均匀性优于±*%。 **、设备配有冷却循环水冷,制冷量功率不小于***。 售后服务要求: *. 所有设备均须由供方按清单内的保修时间提供整机保修服务,保修期自供需双方代表在设备验收单上签字之日起计算。保修费用计入本合同总价。*. 保修期内,供方负责对其提供的设备整机进行维修,并且保证每季度上门检修*次,不再向需方收取费用。*. 设备故障报修的响应时间:每天*:**~**:**期间为 *小时。其余期间为*小时。*. 如果设备故障在检修 **小时后仍无法排除,供方应在**小时内提供不低于故障设备规格型号档次的备用设备供需方使用,直至故障设备修复。*. 所有设备保修服务方式均为供方上门保修,即由供方派员到需方设备使用现场维修。由此产生的*切费用均由供方承担。

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