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1200度双温区PECVD

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标签: 天津市采购 PE
更新时间 2018-09-11 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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基本信息:
申购单主题: ****度双温区*****
申购单类型: 竞价类
设备类别: ******** 实验仪器及装置
使用币种: 人民币
竞价开始时间: ****-**-** **:**
竞价结束时间: ****-**-** **:**竞价已结束
申购备注: 代理商需提供原厂家授权书及售后服务承诺书否则视为无效投标
申购设备详情:


中标供应商 设备名称 数量 品牌 型号 售后服务 规格配置 中标单价 中标理由
长沙市岳麓区文韬仪器设备商行 ****度双温区***** * 天津中环 *****-******-** 按行业标准提供服务 *.最高温度:****℃;*.加热区/恒温区长度:***/*****;*.额定功率:*.***;*.额定电压:****;*.温度控制:国产程序控温系统**段程序控温;*.控制精度:±*℃;**.技术要求:气路总成双环密封,卡箍快速连接,结合热感应技术,炉体表面**度时,排温风扇自动开启,提高蓄热效率*.炉膛材质:多晶莫来纤维;**.滑动方式:手动滑动。***.气体控制方式:质量流量计(特点:采用日本技术与工艺,响应时间≥****,线性方法*点,自动调*,过冲保护);***.*路流量范围:*-********(标准毫升/分,可选配)任何气体标定,根据客户要求定制;***.精度:±*%*.*;**.工作压力:进气压力*.**-*.****;***.柜体内自带混气室和单向阀,柜体配有混气压力表;***.中真空控制系统真空范围:***-******;控制方式:手动控制,真空泵参数:双级机械泵,抽气速率***/*,出气口配置专用出气管,另配电容薄膜真空计(***绿屏显示,抗腐蚀,不受气体影响)*套;***.射频电源技术要求:信号频率**.*****±***%,功率输出范围**-****,最大反射功率***,射频输出接口**Ω,*-****,******,功率稳定度±*.*%,谐波分量:≤-*****,供电电压单相交流(****-****)频率**/****,整机功率≥**%,屏幕显示正方向功率,匹配器电容位置,偏置电压值。**.前驱加热体加热温度:****℃;加热区*****,恒温区***** *****.* 单项低价原则

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