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比比招标网> 政府采购 > 适用于干法刻蚀的等离子体发生系统
| 更新时间 | 2018-04-09 | 招标单位 | 我要查看 |
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| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 适用于干法刻蚀的等离子体发生系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | ******** 实验仪器及装置 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | ****-**-** **:** |
| 竞价结束时间： | ****-**-** **:** |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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| 适用于干法刻蚀的等离子体发生系统 | * | 套 | 北京泰龙电子技术有限公司 | *-**** **** | 是 | 按行业标准提供服务 | 电容耦合式等离子体发生电极 *套，尺寸为*英寸射频电源+匹配器*体机 *套 规格如下：*.功率范围：*-****（连续可调）*.工作频率：**.******.工作电压：*******.匹配时间：*~*秒*.射频输出接头：***公头*.功率稳定度：≤***.最大反射功率：****.冷却方式：强制风冷*.控制方式：**通信电容耦合式等离子体发生电极?***电容耦合方式?高纯陶瓷介质层?*英寸样品适用；可实现等离子体刻蚀功能以及材料的干法去除功能****射频电源+匹配器*体机: *-**** ***机械框架: 铝合金型材框架和不锈钢面板 | 无 |
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