比比招标网> 政府采购 > 暨南大学 - 竞价公告 (CR105592024004854)
更新时间 | 2024-12-23 | 招标单位 | 我要查看 |
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序号 | 试剂名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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紫外光刻胶
| *(瓶) | ***** ****** ********** | **-****** |
规格:*****
参数:
*. 膜厚:*.* µ*、** µ*、** µ*、** µ*。
*. 旋涂参数:
- 转速:**** ***。
- 时间:** 秒。
*. 特性:
- 降低对比度。
- 膜厚可达** µ*及以上。
- 在灰度光刻中,图案深度范围可达**-** µ*。
- 光谱敏感度为***-*** **。
- 可进行高强度激光曝光,不会产生气体。
- 可使用水性碱性开发者进行灰度光刻,使用****基开发者;对于标准*进制光刻,也可使用含金属离子的开发者。
- 适用于电镀。
- 适用于干法刻蚀过程,例如使用****、***、***。
- 适用于标准*进制光刻后的图案重流。
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按行业标准提供服务
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报名地址:******************