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比比招标网> 政府采购 > 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 - 竞价公告 (CBCIGIT20240001...
| 更新时间 | 2024-11-18 | 招标单位 | 我要查看 |
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序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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双频激光干涉仪**位移台双轴测量系统
| *(套) | 镭测 | ****** |
测量系统需包含如下*个单元：（*）双频激光器单元 激光功率＞*.***，双频激光频差：*.*±*.****，波长长期稳定度：±*.*****，预热时间＜*****，工作温度范围**-**℃。（*）信号接收及处理单元 测量范围：*-***，相位卡支持测量轴数：*路参考*路测量，分辨率：***，测量精度：±*.****（真空）±*.****（空气），最高测量速度：**/*，采样频率：*.***-******。（*）环境测量及波长补偿单元 相对湿度：工作范围 **%-**%** 测量精度 ±*%**，空气压力：工作范围 **-****** 测量精度 ±*****，空气温度：工作范围 *℃-**℃ 测量精度 ±*.*℃，材料温度：工作范围 *℃-**℃ 测量精度 ±*.*℃。（*）光学测量单元 光学细分倍数：*倍程光学细分，线性测量范围：**，光束平行度：＜*分。
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