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高真空电阻蒸发镀膜设备(JJ2024002276)采购公告

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标签: 天津市采购 蒸发 膜厚
更新时间 2024-11-05 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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高真空电阻蒸发镀膜设备(************)采购公告

发布时间:****-**-** **:**:**阅读量:** 次
项目名称 高真空电阻蒸发镀膜设备 项目编号 ************
公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:**
采购单位 南开大学[联系方式] 付款方式 供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格,双方签字确认后,*个工作日内支付全部货款。
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 按照合同约定执行
预算总价 *** + *** + *** 未公布
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 天津市津南区同砚路**号南开大学[联系方式]津南校区材料科学与工程学院***
供应商资质要求

符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
高真空电阻蒸发镀膜设备 * 无 无
品牌 品牌* 维纳真空
型号 定制
品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ¥ ***
技术参数及配置要求 *. 真空腔室:Φ***×******,上钟罩(高硼硅玻璃)+下底座(*** 不锈钢)结构;*. 真空系统 :****/* 抽速复合分子泵+直联旋片泵组成的大抽速、准无油真空系统;全量程数显复合真空计(*×***~*×**-***);*.真空极限:≤*.*×**-***(*.*×**-*****); *.抽速:分子泵完全启动,抽至 *.*×**-***≤*****; *.结构尺寸:(*)抽屉式结构,最大可镀基片尺寸:***×*****,该范围内可装卡各种规格基片:**~**** 方形 ***/*** 玻璃约 **~** 片;(*)基片掩膜:随设备提供*块掩膜板(客户需需提供掩膜图案);(*)衬底水冷:采用基片台背板通冷却循环水强制水冷; *.蒸发源及电源:两组蒸发源;采用水冷式蒸发电极,可长时间稳定工作,兼容金属材料和有机材料的蒸发源结构设计;蒸发源配隔离屏蔽罩,防止两源交叉污染且屏蔽有害热量;*.膜厚监控:采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚; *.蒸发电源: 台蒸发电源,通过切换按钮,能实现*次真空环境两源依次蒸发;额定功率:*.***,恒流工作模式,最大电流 ****;*.速率和膜厚监控:采用膜厚监控仪和开发的膜厚控制程序,蒸镀过程中实时监测蒸发速率,监控膜厚;厚度监测范围 *?~****?,分辨率 *?;速率监测范围 *.*?~****.*?/*,分辨率 *.*?;*.水冷系统:水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头等;配高精度冷却循环水机 * 台;**.控制方式:*** 手自动控制,触摸屏操作;**.报警及保护:对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护。 **. 特别定制:掩膜板*块。*、产品配置*. 高真空电阻蒸发镀膜设备*. 冷却循环水机;*.速率和膜厚检测系统;*.衬底水冷组件;*.衬底加热组件;*.说明书*份;*.包装箱*套;
参考链接
售后服务 按国家法定或行业要求提供售后服务。

南开大学[联系方式]

****-**-** **:**:**

报名地址:******************

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