中南大学 - 竞价公告 (CB119422024003144)

纳米芯加工装置，包含有成套***-** 型等离子清洗机，纳米旋涂机，能够进行从清洗开始到旋涂整个加工程序。 ***-** 型等离子清洗机是*款超清洗设备，采用气体作为清洗介质,在短时间内能完全彻底地清除被清洗物表面的有机污染物，其清洗能力达到分子级。它具有性价比高、性能稳定、清洗效率高、操作方便、使用成本极低、易于维护等诸多优点。 技术参数: *.清洗舱规格:Ф******** **(耐热玻璃)； *.清洗舱有效容积:*.* *； *.整机输入功率:*** *； *.射频输出:*~*** *(连续可调)； *.射频频率:**.** ***； *.数字式定时器范围:*~**.** ***； *.极限真空度:** **； *.*路浮子流量计:*.*~*.*** 量程，方便*种气体按比例混合； *.观察窗:观察清洗仓内辉光状态； **.常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体； **.***-*型单相真空泵； **.旋涂机：旋涂程序:最多可存***组程序，每组**步，每个步骤可精确到*.*秒:具有快速启动、快速切换转速和转速稳定的性能，能够保证胶膜厚度的*致性和均匀性。工作台尺寸:中**~中*****(可更换):转动度: ***~*******旋涂不均匀性:≤士*%工艺时间设定:*-*******/****时间设置精度:*.****。配备聚*氟乙烯匀胶盘：*英寸、*英寸、*英寸、载玻片匀胶盘； **. ****-*****型烘箱，*****加热功率，**+**-***℃，工作室尺寸*************。

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