比比招标网> 政府采购 > 高真空磁控溅射薄膜沉积系统(JJ2024000135)采购公告
更新时间 | 2024-09-23 | 招标单位 | 我要查看 |
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高真空磁控溅射薄膜沉积系统(************)采购公告
项目名称 | 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 | 项目编号 | ************ |
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公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
采购单位 | 福州大学[联系方式] | 付款方式 | 内贸:全部货物交货并最终验收合格后,乙方向甲方提供全额的正式发票(**万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票),甲方凭验收合格材料向乙方支付***%的合同款。 |
联系人 | 登录后可见 | 联系电话 | 登录后可见 |
签约时间要求 | 成交后**个工作日内 | 到货时间要求 | 内贸:合同签订后**个工作日内 |
预算总价 | ¥ ******.** + *** + *** | ||
发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
含税要求 | |||
送货要求 | |||
安装要求 | |||
收货地址 | 福州大学[联系方式]科技园 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
公告说明 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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高真空磁控溅射薄膜沉积系统 | * | 台 | 其他电工、电子生产设备 无 无 |
品牌 品牌* | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
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型号 | ****** |
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预算单价 | ¥ ******.** |
技术参数及配置要求 | 极限真空度:≤*.****-***(经烘烤除气后)抽速 从大气开始抽气:**分钟可达到*.****-* **保压性能:系统停泵关机**小时后真空度:≤***真空室:*.单室结构*.手动前开门*.优质***不锈钢材质*.尺寸约:Ф************.具备内烘烤除气功能*.具备腔外照明功能磁控溅射靶:*.永磁靶:*套*.尺寸:*英寸*.向上溅射*.倾斜共溅射*.靶基距可调:****-*****直流溅射电源:*.输出功率:*-*****.数量:*套射频溅射电源:*.输出功率:*-*****.输出频率:**.******.自动匹配器*.数量:*套基片台:*.尺寸:*英寸(兼容小尺寸基片)*.数量:*片*.水冷保护:室温到**℃(水冷保护温度参考冷水机出水温度)*.基片自转速度:*~**转/分*.配有负偏压电源气体流量控制器:*.氩气:*-*******(准确度:±*.*%*.*)*.氮/氧气:*-******(准确度:±*.*%*.*)*.备*路脂润滑分子泵:*****/*旋片真空泵:***/*复合真空计:*******-****-***工艺薄膜规:规格**.*** |
参考链接 | |
售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算*年服务网点:国内电话支持:*×*小时 |
福州大学[联系方式]
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报名地址:******************