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高真空磁控溅射薄膜沉积系统(JJ2024000135)采购公告

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标签: 辽宁省采购 高真空 输出功率
更新时间 2024-09-23 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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高真空磁控溅射薄膜沉积系统(************)采购公告

发布时间:****-**-** **:**:**阅读量:** 次
项目名称 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 项目编号 ************
公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:**
采购单位 福州大学[联系方式] 付款方式 内贸:全部货物交货并最终验收合格后,乙方向甲方提供全额的正式发票(**万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票),甲方凭验收合格材料向乙方支付***%的合同款。
联系人 登录后可见 联系电话 登录后可见
签约时间要求 成交后**个工作日内 到货时间要求 内贸:合同签订后**个工作日内
预算总价 ¥ ******.** + *** + ***
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 福州大学[联系方式]科技园
供应商资质要求

符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
高真空磁控溅射薄膜沉积系统 * 其他电工、电子生产设备 无 无
品牌 品牌* 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号 ******
品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ¥ ******.**
技术参数及配置要求 极限真空度:≤*.****-***(经烘烤除气后)抽速 从大气开始抽气:**分钟可达到*.****-* **保压性能:系统停泵关机**小时后真空度:≤***真空室:*.单室结构*.手动前开门*.优质***不锈钢材质*.尺寸约:Ф************.具备内烘烤除气功能*.具备腔外照明功能磁控溅射靶:*.永磁靶:*套*.尺寸:*英寸*.向上溅射*.倾斜共溅射*.靶基距可调:****-*****直流溅射电源:*.输出功率:*-*****.数量:*套射频溅射电源:*.输出功率:*-*****.输出频率:**.******.自动匹配器*.数量:*套基片台:*.尺寸:*英寸(兼容小尺寸基片)*.数量:*片*.水冷保护:室温到**℃(水冷保护温度参考冷水机出水温度)*.基片自转速度:*~**转/分*.配有负偏压电源气体流量控制器:*.氩气:*-*******(准确度:±*.*%*.*)*.氮/氧气:*-******(准确度:±*.*%*.*)*.备*路脂润滑分子泵:*****/*旋片真空泵:***/*复合真空计:*******-****-***工艺薄膜规:规格**.***
参考链接
售后服务 质量保证期:验收合格之日起算*年服务网点:国内电话支持:*×*小时

福州大学[联系方式]

****-**-** **:**:**

报名地址:******************

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