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上海工程技术大学 - 竞价公告 (CB108562024000135)

标签：上海市采购

更新时间	2024-09-19	招标单位	我要查看
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序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

清洗机

*(台)

******

不指定

*.需要兼容*英寸以上的硅片刻蚀工艺和光刻工艺的清洗，也可以用于***、******和***板等对象的清洗； *.需配备化学液清洗槽和***清洗槽，每次清洗硅片＞**片； *.化学槽需兼容氨水和双氧水等常见清洗液； *.颗粒物去除率需＞**%； *.*** **应该＞** */** ***，颗粒控制＜** **； *.需配备溢流、喷淋、鼓泡、快排模块加强清洗效果。 *.需为本单位提供机器操作培训，设备最长可以在交付后*年内启动使用，启用之后*年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 *.为保证工艺*致性，刻蚀机和清洗机需要为同*家设备供应商。

设备最长可以在交付后*年内启动使用，启用之后*年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。

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