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比比招标网> 政府采购 > 多靶磁控溅射镀膜系统（XF-WSBX-2400434）采购公告
| 更新时间 | 2024-09-11 | 招标单位 | 我要查看 |
| 截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
| 项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
| 关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
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多靶磁控溅射镀膜系统（**-****-*******）采购公告
| 项目名称 | 多靶磁控溅射镀膜系统 | 项目编号 | **-****-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 浙江大学[联系方式] | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方*次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后*个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ ******.** + *** + *** | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 浙江大学[联系方式]西溪校区田家炳书院*** | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 多靶磁控溅射镀膜系统 | * | 台 | 电子工业生产设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | |
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| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 | *.腔体采用******不锈钢制作，镀膜室内净尺寸: ****×****×****；方箱式，前、后开门，前门平开式，后门为侧开式。与手套箱对接，设备设计总尺寸不的超过***************。*.采用“复合分子泵+直联旋片泵+高真空阀门”组合的高真空系统；****分子泵 *****/****，抽速：*****/*，北仪优成旋片式机械泵：型号：***-**，抽速：**/*。*.真空极限：*.*×**-***（空载，经烘烤除气后）；*.成都睿宝数显复合真空计：两低*高，含两个电阻规，*个电离规，测量范围从*×*****到*×**-***；*.漏率：≤*.***/*；*.抽速：（空载）从大气抽至*.*×**-***≤*****；*.基片台尺寸：圆形基片台结构，可承载最大***×***** 基片，基片台磁流体密封，电机驱动；*.基片旋转：*～** 转/分钟；*.基片加热：室温～***±*℃，可控可调；**.工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜；**.膜厚不均匀性≤±*%（Φ*****范围内）；**.*星华创质量流量控制器：**、**各*个；量程范围**为：*～*******/**为：*~********.控制方式：***+触摸屏人机界面半自动控制系统；**.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施，完善的逻辑程序互锁保护系统。**.溅射靶：配*只*英寸靶，*英寸永磁共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），永磁间接水冷式，支持直流、射频电源溅射；靶角度、高度可调，配挡板；靶基距调整范围**～*****，方便调整掌握最佳镀膜距离。可溅射磁性材料，磁性材料厚度*㎜，非磁性材料厚度*㎜；预留*个磁控溅射靶位**.直流脉冲溅射电源****台，数字化控制及显示；**.射频电源 *****套，含自动匹配器。**.自动恒压系统，由电动限流阀 Φ***㎜和进口英福康薄膜规组成，有利于工作压力恒定，节约用气，镀膜工艺控制稳定；（含*直薄膜规）**.配备丹耐斯***-**型循环水机和***-**型空气压缩机。**.机架控制柜：可以整体移动、安装，底下配脚轮，方便移动、定位； |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 服务网点:当地电话支持:****小时质保期:*年服务时限:报修后**小时销售资质:协议供货商商品承诺:原厂全新未拆封正品 |
浙江大学[联系方式]
****-**-** **:**:**
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