西南大学 - 竞价公告 (CB106352024000073)

★*、测量范围：电阻率：**-*～*** Ω.**(可扩展)方块电阻：**-*～*** Ω/□(可扩展)电导率：**-*～****/**电阻：**-*～*** Ω可测晶片厚度：≤*** ★*、测试标准：采用双电测测试标准，通过 ***-* 双电测测试软件控制*探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算出电阻值。仪器主机也可兼容 ***-**探针测试软件实现单电测测试标准，两套软件可同时使用。 ★*、模拟电阻测量相对误差(按 ******-** 进行)：*.**Ω、 *.*Ω、 *Ω、 **Ω、 ***Ω、 ****Ω、 *****Ω≤*.*％± * 字。 ★*、整机测量最大相对误差：(用硅标样片:*.**-***Ω.** 测试) ≤±*％。 整机测量标准不确定度：≤*％。 ★*、恒流源: 电流量程分为 *µ*、 **µ*、 ***µ*、 ***、 ****、 ***** *档，各档电流连续可调。 ★*整套设备应包含：*探针测试仪主机*台、*探针测试台*台、*探针探头*个、测试软件（含***-*和***-*测控模块）、硅标样片*个 ▲*、数字电压表：量程及表示形式 ***.**～***.** **；分辨力： **µ*；输入阻抗＞ *****Ω；精度：±*.*% ；显示：*位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示。 ▲*、*探针探头基本指标：间距：*±*.****；针间绝缘电阻：≥*****Ω；机械游移率：≤*.*％；探针：碳化钨或高速钢 Ф*.***；探针压力： *～** 牛顿(总力)。 ▲*、软件功能：软件可记录、保存、打印每*点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到 ***** 中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 **、可测晶片直径： ***********(配*-** 型测试台)；***********(配*-** 型测试台)； ***********(配*-** 型测试台)。 **、计算机通讯接口：并口，高速并行采集数据 ★**、设备质保*年及以上，保修期内正常使用范围内出现质量问题供方负责修理。 ★**、运送至西南大学校内指定地点，并负责安装调试 ★**、供货商需要原厂授权函或证书

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