比比招标网> 政府采购 > 深圳大学 - 竞价公告 (CB105902024000875)
更新时间 | 2024-07-03 | 招标单位 | 我要查看 |
截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
每天更新 15000 条招标信息
涵盖超过 1000000 家招标单位
序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
---|
* | 紫外光刻机 | * | 中国科学院光电技术研究所 | ***-****/*** |
*.技术参数
曝光面积:*英寸
曝光波长:*****
分辨力:*.***-***
对准精度:±***
掩模样片整体工件台运动范围:*:*****:****
掩模尺寸: *英寸,向下兼容
样片尺寸:*英寸,向下兼容,支持碎片
厚度可适应*.***--***(最大可扩展为****)
曝光方式:定时(倒计时方式)
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光*种功能
双目双视场对准显微镜:可通过目镜目视对准,也可通过***+显示器对准,光学合像,光学最大倍数***倍,光学+电子放大***倍,物镜*对:*倍、**倍、**倍,目镜*对:**倍、**倍、**倍
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和曝光间隙
掩模相对于样片运动行程: *: ±*** *: ±*** *: ±*º
最大焦厚:*****(***胶,用户提供检测条件)
光源平行性:*.* º
曝光能量密度:&***;******/**²
单层曝光*键完成
采用球气浮自动找平
照明不均匀性: £*.*%( ******范围);
具备压印模块接口,也具备接近模块接口
曝光光源:****汞灯;
*.外形尺寸:约******(长)*****(宽) ******(高)
*.配置
设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
*.* 曝光系统
冷光椭球镜
****进口直流高压汞灯(进口)
***汞灯调节台
冷却风扇
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜*、准直镜镜*、蝇眼透镜组(**个透镜)、*线滤光片、场镜*、冷光反射镜*、反射镜*
*.* 对准工件台系统
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,自动完成
基片抽拉式上下机构
样片调焦机构,电机自动调
承片台*个:***** 、*英寸、*英寸、*英寸
掩模夹*个:*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸
*.* 电控系统
光源、 电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜*对(**倍、**倍、**倍,共*个)
物镜*对(*倍、**倍、**倍,共*个)
***对准系统,**寸液晶显示器
*.* 气动控制系统及辅助配套设备
*.** 电控系统
单片机控制系统;
紫外***电源模块;
控制柜桌
*.** 气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
*.** 真空泵 ** 空压机**
|
*、验收合格之日起,免费质保*年,终身维护。
*、质保期内*小时响应,**小时到达现场维修,质保期外**小时响应,终身维护。
*、售后服务*个工作日发现质量问题包换新或者退货。
*、原厂技术人员送货上门安装培训,当面验收,拒绝快递。
|
报名地址:******************