宁波大学 - 竞价公告 (CB116462024000792)

*.* 真空腔体： *.*.* 真空腔体 腔体、管道和所有法兰均采用****** 不锈钢焊接，腔体内部设 计*套防污板，腔体外形直径********** *.*.* 腔门 手动前开门结构，在腔门上设计*个直径***** 的观察窗，观 察窗带挡板。 *.*.* 功能模块 *、真空腔底部设计* 组电极杆，电极杆之间间距**** *、腔体侧壁安装真空计探头和预留法兰接口，腔体顶部采 用模块接口， *、样品台法兰尺寸为******， *、腔体上设计*个照明（***）。 *.* 真空系统组成及技术指标 *.*.* 真空系统获得及泵配置 抽速：****/* 口径：***** 机械泵：鲍斯 抽速：**/* 主阀：国产气动插板阀 口径：***** 漏率：&***;#***.****-***.**/* 安装方式：****** 放气阀：电磁充气阀 真空测量：成都睿宝 * 底* 高复合真空计（* 个电阻规和* 个电离规） *.*.* 样品台 样品台最大装载样品***，样品旋转*-*** 可调，手动升降调节 蒸基距，最大升降行程****,带*个电动样品台挡板，样品台可方便 拆卸，法兰接口******。 *.*.* 膜厚监

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