东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000909)

*. 支撑机架 *．*采用*体式机架，控制部分与真空室集成在*起，可整体移动； *．*机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。 *. 样品台 *．*样品架夹具最大可以容纳*个装载有***********基片的基片托盘 *．*基片盘可旋转，旋转速度*-**转/分可调； *．*提供*套掩膜板，图案根据用户要求设计，基片与掩膜板的配合间隙小于*.***。 *．*样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； *. 蒸发源 *．* 共*组蒸发源，*组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板。 **．*蒸发电源功率*.***以上,用于蒸发金属和有机，蒸发源电源具有恒流和恒压*种驱动驱动模式，*者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体*段或以上升温过程控制，*段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪***（闭环控制），自动调节蒸发速率。 *. 膜厚测量系统 *．* 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度； *．* 膜厚仪速率测量显示精度优于*.***/*，厚度精度±*.****；频率分辨率*.*****，频率稳定性±****（*-**度)，测量周期*.*-*秒可调。带有*******操作软件，可以**机上操作，带有***环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。 *．* 石英晶振水冷探头*个， ****，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用****密封结构。 **. *膜厚均匀性，≤*%， 软件操作：满足系统正常操作需求，包括自动抽真空，单层自动蒸镀，以及手动控 制各个部件。 *. 蒸发腔体 *．* 腔本由******制作，其内部尺寸约为*****************； *．* 腔体为方形，有前后*个可完全打开的门，*个为滑动式开启，用于连接手套箱，*个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理； **．* 腔体漏率：整体漏率优于****-****.**/*，保压**小时，压强小于*** *. 蒸镀软件控制系统 *．*采用***，触摸屏或工控机控制； *．*真空系统的控制分为手动和自动*种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。 带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温，也可手动输入控制数据。 **．*可实现*键全自动蒸镀（自动真空，自动蒸镀，开关挡板，自动膜厚清*等自动操作）。

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