天津大学 - 竞价公告 (CB100562024000451)

* 腔室尺寸：Ф***×*****（具体尺寸以设计为准），**********优质不锈钢材质，氩弧焊接； * 样品台：具有加热功能***℃，实际样品台温度不低于***℃，尺寸Ф*****；另外样片台具备样片偏压清洗功能以及±**度倾斜角功能，具备独立的样品台挡板，膜厚仪探头位于挡板下方； * 真空系统：机械泵（***-**,**/*）+********分子泵(********,***/*，用**法兰)；***-***电磁挡板阀； * 极限真空：*.*×**-***； * 真空抽速：大气～*.*×**-*** ≤ *****； * 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：*****～**-***； * 蒸发源：*组电阻蒸发源，*组间可切换，源间有防污板，有挡板，距离 样品台*****； * 蒸发电源：直流蒸发电源*台，* *～*****连续可调，供*组蒸发源切换使用； * 偏压电源：配置*.***偏压电源*台，可对基片进行等离子辉光清洗； ** 膜厚控制系统：国产***-****单水冷探头，控制精度*？； **控制方式：***+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； **设备外形：*****×*****×*****机电*体化机架，预留*个****法兰接口； ** 设备供电总功率≤***，****，单相*线制（*火***地）； ** 冷却循环系统：水压*.*～*.****，水温**～**℃，给设备相关需水冷 部件提供稳定的制冷水；

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）