电子科技大学 - 竞价公告 (CB106142024000057)

**光源：进口***模块（可以根据用户需求更换为汞灯光源） 曝光中心波长：***** 光源平行性：*º ★曝光分辨率：*.***-*** 曝光能量密度：&***;******/**²可调 照度不均匀性：≤*.*%(∮*****范围) 曝光面积：*********** 光源寿命：*万小时 曝光设定：定时 曝光头工作模式：曝光位对准位自动切换（前后移动） 套准精度：±*.*-* ** 间隙设定方式：数字设定曝光间隙，自动分离和消除间隙 样片、掩模版相对移动范围：*: ±***， *: ±***， θ=±*º 掩模版找平方式：球气浮自动找平 可支持掩模版尺寸： *″×*″、*″×*″、*″×*″、*″×*″ 各*件 标配承片台 ： *英寸、*英寸、*英寸、*英寸 标准配件可兼容样片厚度：*.*-***，其他尺寸可定制 最大可设计工作厚度：**** ★双目双视场对准显微镜或者光学镜头+***+显示器：可通过目镜目视对准，也可通过***+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大***倍，物镜*对：*倍、**倍、**倍，目镜*对：**倍、**倍、**倍 双物镜可调距离范围：****-***** ★显微扫描范围：*:±****（电动，数字设定） ★具备膜厚、形貌测量功能 光刻配套的光刻胶、显影液 设备尺寸：≤*****（宽度）

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