东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000517)

*、 镀膜室内净尺寸: ****×****×****；方箱式，前门旋转往右打开式，***优质不锈钢制造； *、 真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于**/*；分子泵抽速：不下小于：*****/*； *、 真空极限：*.*×**-***（空载，经烘烤除气后）； *、 圆形基片台结构，可承载最大***×***** 基片；；基片旋转：*～**转/分钟；加热:室温～***±*℃，可控可调，日本岛电***智能温控闭环控温； *、 磁控溅射靶源：*只*英寸圆形平面靶； *、 基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源； *、 *台磁控溅射电源； *、 配有质量流量控制器*路，供**、**、**气体使用； *、 配备有循环水冷机和空气压缩机； **、 ***+触摸屏人机界面半自动控制系统； **、 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 **、设备配备有独立机架及电控柜；

按行业标准提供服务