暨南大学 - 竞价公告 (CB105592024001057)

**-***-* 设备参数： 抽速(*/*) *.* 极限分压强-无气镇(**) ****^-* 极限总压强-无气镇(**) ****^-* 极限总压强-有气镇(**) * 电源 单/*相 电机功率（**） *.* 进排气连接口**(**) **** 用油量(*) *.*-* 电机转速(***) **** 工作环境温度 *-**℃ 噪音(**) ≤** 重量(**) ** 磁控溅射靶枪 靶头形式： 圆形平面靶 工作真空度： **** — *.*** 靶材直径： **/**.***±*.*** 靶材厚度： *~***（普通型）、*.***（铁磁型） 靶材利用率： &***;****%(铜靶材) 最大输入功率： &***;******(铜靶材) 最大绝缘电压： &***;******* 水冷管直径： *** 冷却水压力： ＞*.**** 极限水压： ＜*.**** 靶头外形尺寸： Ø** * **ｍｍ 靶管尺寸： Ø**±*.*ｍｍ * ***ｍｍ 输入同轴连接器： **-** 靶头温度： ＜**℃

按行业标准提供服务