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东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000388)

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标签: 江苏省采购 测试系统
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质保及售后服务
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*
*英寸晶圆测试系统
*/台
傅测科技
****-***
*、显微镜系统 *.* 显微镜支架,可以*/*轴线性移动;移动范围:****×****,设计扩展其它仪表整合显微镜*体化。 **.* 金相显微镜:西登托夫类型,可调范围:**-****;使用同心粗调(*.***/***)和微调(*.****/***)聚焦(左/右)以达到** **的行程范围,**/***/***/***物镜双目金相显微镜,可目镜观察,也可直接在显示屏上观察。 *.* 包含****高清***。 *.* 包含*** *冷光源,全色域光谱。*****色温,光纤光源,*.*米 *.*具备显微镜桥接口,可以自行更换、升级显微镜。 *、电学测试台主机 *.* 样品台(*****):可装载包括*英寸以内样品;样品真空吸附,并且吸附区域可选择,具备刻度环;平整度<**μ*。 **.* 具有气浮式样品台,采用空气轴承,可*键***°全量程大范围快速移动。 *.* 样品台可粗调***度,微调角度±*°。 **.* */*快速平台移动范围≥*****×*****;微米级精细移动范围≥****×****。 *.* 可方便、无风险样品装载。 **.* 针座放置平台(******)可调节位移≥****。******微调带微调电子千分尺,千分尺具有调*功能,可实施显示******升降高度 **.* 针座放置平台有*档调节微调高度设计(防止更换样品时,针尖与样品剧烈碰撞),平台*挡微调高度:*-***μ*-***。 *.* 最多可容纳**组**直流针座和*组**射频针座。 *、探针座 *.* 配备*只磁性吸附的直流探针座。针座精度*.*微米,***行程:**.*/**.*/**.***。 *.* 配置*根直流针杆,直流针杆采用*同轴套管形式。 *.* 配置*根开尔文测试针杆,*根超低漏电开尔文探针 *、直流探针 *.* 直流探针满足*~*****的测试频率范围,直流探针漏电流<***** *、光电屏蔽系统 * *.* 系统需配置完全兼容的减震平台进行放置,保证测试精度,固有频率*.* ~ *.* **,双腔室空气弹簧,隔振来源 阻尼孔水平维持方式,高精度阀门自动维持水平,*** 屏蔽 &**; ** ** (*******) @ * *** ** * ***,光衰减 ≥ *** **,光谱噪声基底 ≤ -*** ******/**** (≤ * ***),系统交流电噪声 ≤ ** ***-* (≤ * ***) **、自动化测试系统,支持*****、***测试仪器,对**芯片,****芯片,****电路测试数据保存,图形显示,数据存储功能,实现动态范围:********,*µ*******,***,*象限工作*.***%的精确度,*½的分辨率,可程控电流驱动和电压测量钳位的*位线电阻测量。 **、多通道测试探卡,配合自动化测试系统,**路测试通道,*****尺寸小于**微米。 **、可升级磁场功能选件,完成 霍尔迁移率:*.**-*** *** /**,电阻范围:***Ω-**Ω,电阻率:****-* 到 ***Ω**功能测试。
按行业标准提供服务
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