暨南大学 - 竞价公告 (CB105592024000364)

*.样品兼容*寸向下，可顺利排液。腔体耐酸碱，抗腐蚀。 *.无需任何气动控制。 *.真空吸附样品稳定，以*寸晶圆为标准。(附带真空压力实时监测) *.支持*路同时自动显影，摆臂独立可控，范围足够大。每根显影管路压力，出液量单独可调。 *.转速可调范围（**-********），加速度可调范围（**-********）。（附转速实实时监测探头） *.显影液与液体吸管为插拔式连接。 *.显影具体要求:对小型样品（****方片以下）使用*组柱状喷头喷液。换用（花洒*型）喷头时，可对*寸与*寸片显影。 对*寸片有*组专用喷头（花洒*型）。（配备*种共*个可随意切换的喷头，*个柱状对小片显影以及定影，*个花洒兼容*、*寸的显影定影，*个专用于*寸样品的显影定影。） 以上喷头的的洒液半径由厂商综合显影喷头的最小间距与以及机械臂高度、摆动速率、角度决定。对上述显影对象，提供参考******。（摆放位置为竖直向下摆放，每两个为*组，成***阵列排布，可手动切换任*组到显影样品的中心。 *.附带样品托盘，对*寸，*寸的托盘。对小样品是真空吸孔式（***细孔）。 *.显影机底部可手动调平。 **.臂摆动范围要求满足所提显影需求，且不干扰进出样品。 **.能达成较好的显影效果（最终验收标准） **.可调的显影臂高。 **.样品腔室足够深，且防液回溅射。 **.金属材料耐用，整体性能需保证不弱于不锈钢。 **.真空吸孔防液防胶设计，堵塞时可清理。

*、全保*年。 *、两年内维修免人工费。