比比招标网> 政府采购 > 探针台采购(XHGD-CG-2024040)采购公告
更新时间 | 2024-02-04 | 招标单位 | 我要查看 |
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探针台采购(****-**-*******)采购公告
项目名称 | 探针台采购 | 项目编号 | ****-**-******* |
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公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
采购单位 | 西湖大学光电研究院 | 付款方式 | **%**,**%验收后** |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后**工作日 | 到货时间要求 | 签约后***个自然日 |
预算总价 | ¥ ******.** + *** + *** | ||
发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
含税要求 | |||
送货要求 | |||
安装要求 | |||
收货地址 | 浙江省杭州市西湖区石龙山街**号,西湖大学 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
公告说明 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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探针台 | * | 台 | 无 无 |
品牌 品牌* | |
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预算单价 | ¥ ******.** |
技术参数及配置要求 | *.▲探针台,主要构成包括探针台底座、滑台、载物台、台板、显微镜成像装置、探针座、探针、电缆、屏蔽暗箱以及真空装置等。*.可测试样品最大晶圆尺寸: *英寸;并能兼容处理*英寸晶圆。*.▲配置*套直流针座,针座*、*、*轴移动范围≥**.***×**.***×**.***,移动分辨率******,磁性吸附固定。(投标时需附上产品彩页或检测报告)*.★配置*同轴载物台,材质:不锈钢;载物台平整度:≤±***;具有** **、 *** **、 *** **共*个真空环带,*个真空开关;中心真空孔直径*.***。(投标时需附上产品彩页或检测报告)*.★载物台可被水平拉出移动:≥****,并具有锁止功能,方便放置待测晶圆/被测件。*.★配置:≥*个子载物台;子载物台尺寸:≥****×****,不少于两个子载物台可支持真空吸附;用于测量校准、清针和单粒器件吸附,支持今后扩展研发射频项目的功能:用于射频校准与接触调整。(投标时需附上产品彩页或检测报告)*.★载物台*、*轴移动行程≥***********;*、*轴移动分辨率≤***;整个*****范围移动平整度≤****;且载物台的*、*轴具有锁止功能,保证测试安全性。(投标时需附上产品彩页或检测报告)*.★载物台*轴行程≥****,通过摇杆实现快速升降,行程*~***。(投标时需附上产品彩页或检测报告)*.★载物台*****轴旋转范围≥±*°。**.★探针台板高度调节范围≥****, *****快速接触/分离功能,重复精度≤***,台板到卡盘的最小高度≤****, 利于精确扎针和提升测试效率。(投标时需附上产品彩页或检测报告)**.★配置 *套直流针臂,针臂性能要求:(投标时需附上产品彩页或检测报告)*)温度适用范围:-**℃~***℃;*)具有****连接电缆, 可与带****端口的探针连接;*)具有两个小型*轴同轴连接端口, 支持与带小型同轴端口电缆的连接;*)特性阻抗:**欧姆;*)最大耐受击穿电压: ≥****;*)最大电流: 可达**。**.★直流针臂在屏蔽环境下, 漏电≤***。(投标时需附上产品彩页或检测报告)**.载物台漏电,屏蔽环境下,漏电≤**** 无屏蔽环境下,漏电≤*****。(投标时需附上产品彩页或检测报告)**.★配备*个直流针座,直流针座性能要求:(投标时需附上产品彩页或检测报告)*)可适用于直流探针臂的安装固定,适用于直流测量;*)特征分辨率≤***;*)丝杠周圈分辨率≤*****;*)高精度交叉滚子轴承设计,****个移动方向独立性能优越;*)过行程保护机制避免针座锁止产生应变,破坏精度;*)探针底座尺寸:≤*********;*)主要适用于 *-*、 *-* 和失效分析领域;*)固定方式:磁吸;*)针座底部预留缝隙,可以通过配置导轨舌片进行机械限位,满足防呆设计,防止误操作撞针。**.★配备*个直流探针,直流探针性能要求:(投标时需附上产品彩页或检测报告)*)温度适用范围:-**℃~***℃;*)全屏蔽防护构造;支持低漏电测试要求,达到**量级;*)最大耐受击穿电压: ≥****;*)具备双连接端口:****接口;*)可支持更换的针尖半径尺寸:***;*)支持针尖材料: 钨针;*)特性阻抗: **欧姆;*)频率响应(***): ******。**.★配备**根直流电缆, 直流电缆性能要求:*)*轴电缆, 长度>*.**;*)电缆两端均是阳头;*端是标准*轴同轴头,*端是小型*轴同轴头;*)电缆*端:小型*轴同轴头可兼容连接到直流探针臂上 另*端可连接到*轴转换面板;*)电缆具备低漏电特性,可适用于≤****测量环境要求。**.★配置*个***摄像头,性能指标要求:*)传感器:****;*)分辨率> ***;*)像素尺寸<*.******.****;*)最大信噪比:*.***@*****。**.★要求厂家具有整体解决方案, 有力提供同*品牌的能满足各种测试附件, 包括主机、直流针座、直流探针臂、直流探针、直流电缆等, 并具备今后升级可配套微波部件和射频校准件、射频校准软件等测试能力;**.★要求厂家具有良好的产品制造质量和能力;(投标时需附上质量证书)**.支持今后功能升级,可添加微波部件, 实现射频*参数测量;**.探针台满足**、**等任*行业认证;**.配置*盒直流针尖:**支,针尖材质: 钨,针尖易于更换, 可与直流探针配套;**.配置体式显微镜,放大倍数为**-****,带有***照明系统,配备***标准接口,支持连接***摄像头;**.配置*轴转换面板*个;**.配置北向台板垫板*套,国内定制加工,用于扩展放置更多针座,方便测试;**.配置国内定制的屏蔽暗箱*套;**.配置国内配套的真空泵*个;**.随机配置装机工具盒*套,方便机器安装和日常维护。(具体见附件中技术参数文件) |
参考链接 | |
售后服务 | 质保期:*年 |
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报名地址:******************