深圳大学低温等离子活化系统意向公开

标签：广东省采购

更新时间	2023-06-16	招标单位	我要查看
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深圳大学低温等离子活化系统意向公开

****/*/** **:**:**

采购单位:	深圳大学
项目名称:	低温等离子活化系统
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	设备具有低温等离子活化的专利应用许可和工艺菜单设备由低温等离子体活化模块、工艺气体系统、真空系统、配套卡具及相关配件等部分构成。双频射频等离子体，即同时具备高频和低频等离子体源，提供两种活化频率，可交替使用，两种等离子输出功率可编程控制，输出功率可达**。工艺腔室允许使用非原位工艺，即晶圆片可在腔室内分别片片激活，之后在激活腔室外进行键合。兼容**及以下晶圆腔室，腔室内部覆盖无金属离子涂层，减少离子污染。配置级真空系统，包括干泵和涡轮分子泵，真空度可达-***。
联系人:	王老师
联系电话:	**-******
预计采购时间:	**-
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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采购单位:	深圳大学
项目名称:	低温等离子活化系统
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	设备具有低温等离子活化的专利应用许可和工艺菜单设备由低温等离子体活化模块、工艺气体系统、真空系统、配套卡具及相关配件等部分构成。双频射频等离子体，即同时具备高频和低频等离子体源，提供两种活化频率，可交替使用，两种等离子输出功率可编程控制，输出功率可达**。工艺腔室允许使用非原位工艺，即晶圆片可在腔室内分别片片激活，之后在激活腔室外进行键合。兼容**及以下晶圆腔室，腔室内部覆盖无金属离子涂层，减少离子污染。配置级真空系统，包括干泵和涡轮分子泵，真空度可达-***。
联系人:	王老师
联系电话:	**-******
预计采购时间:	**-
备注:	无

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深圳大学低温等离子活化系统意向公开

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采购单位:	深圳大学
项目名称:	低温等离子活化系统
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	设备具有低温等离子活化的专利应用许可和工艺菜单设备由低温等离子体活化模块、工艺气体系统、真空系统、配套卡具及相关配件等部分构成。双频射频等离子体，即同时具备高频和低频等离子体源，提供两种活化频率，可交替使用，两种等离子输出功率可编程控制，输出功率可达**。工艺腔室允许使用非原位工艺，即晶圆片可在腔室内分别片片激活，之后在激活腔室外进行键合。兼容**及以下晶圆腔室，腔室内部覆盖无金属离子涂层，减少离子污染。配置级真空系统，包括干泵和涡轮分子泵，真空度可达-***。
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