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北京大学深圳研究生院 - 竞价公告 (CB10001SZ2022000017)

标签：广东省采购

更新时间	2022-12-14	招标单位	我要查看
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基本信息：

申购明细：

序号

采购内容

等离子体系统

数量

*台

预算单价

******

品牌

********

型号

*******-**

规格参数

*、技术参数 *.* 采用电感耦合（***）远程等离子体激发源。 *.* 配备射频电源，频率**.*****，功率不小于*****，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于***，功率转化效率不小于**%，杂散功率抑制不小于-*****，谐波抑制不小于-*****。 *.* 配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。 *.* 配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成**传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于**。 *.* 配备*路气体管路。 *.* 每路气体管路配备*个进口阀门和*个质量流量控制器。 *.* 等离子体工艺启辉窗口，功率范围**-*****，压力范围*.**-*.*****。

质保及售后服务

卖方拥有完善的售后服务团队和专业技术人员，并承诺： ⑴卖方所售出的产品，均由卖方负责所有产品的安装、调试，工程验收合格后由技术人员进行有关设备的使用、维护培训，时间为期*-*天，食宿费自理； ⑵售出的仪器设备从使用人验收合格之日起*年内，用户正常使用而引起的故障及其他事项，卖方负责免费联络原厂进行维护、修理的；所提供的设备、*部件均符合国家相应质量标准。 ⑶定期巡检，由卖方售出的仪器设备承诺将在保修期内为用户提供每年*次上门免费保养服务；⑷对于用户的报修，卖方承诺自接到用户报修时起，*小时内响应，**小时内提出解决方案，如方案仍不能解决问题，保证在**小时内到达现场解决问题. ⑸超过免费保修期限的产品维修，卖方将提供有偿的技术、维修服务；按行业标准提供服务

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