| *、设备用途 能够对各种类型的材料样品表面微观结构进行高分辨率成像观察，获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，可以在低电压下条件下无需镀膜直接高分辨观察样品。配置*射线能谱仪和****，可同时对样品表面微观区域内元素成分进行定性、定量分析以及晶体学取向等分析。
*、技术参数 *.* 图像分辨率： ★*.*.* 高真空*次电子分辨率： ≤*.*** @****，≤*.*** @***（非样品台减速模式）； *.* 电子光学系统： *.*.* 发射源：肖特基热场发射电子枪； ★*.*.* 加速电压范围（非着*电压）不低于： ***～****，*** 步进连续可调； ★*.*.* 最大探针电流不低于 ****，束流稳定性优于*.*%/*； *.*.* 放大倍数：范围≥**～*,***,****（宝丽来胶片模式）, 可进行粗调和精调两种调节模式； *.*.* 图像控制：可自动对工作距离进行补偿，具有动态聚焦，聚焦补偿功能； ▲*.*.* 工作距离范围 *.*～****； ▲*.*.* 物镜光阑：不少于*孔可变光阑，光阑具备自动坐标记忆功能，可通过软件自动控制光阑孔径更换，无需手动调节，为电动调节； ▲*.*.* 扫描速度：各种扫描速度不少于 ** 种，驻留时间不低于 **** 到 *.****； *.*.* 扫描方式不少于：全屏、快捷方式、选区、定点方式、线扫描、面扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜校正； ▲*.*.** 物镜系统至少包含静电透镜和电磁透镜两部分，能够实现物镜下方无漏磁成像模式，可对各种磁性材料实现近距离高分辨观察。 *.* 样品室及样品台： ▲*.*.* 样品室，抽屉式推拉仓门，内部尺：*****（直径）&***;**********;（高）； *.*.* 样品台类型：* 轴优中心马达驱动样品台； ▲*.*.* 样品台马达移动范围：*****（* 方向），*****（* 方向），****（* 方向），-*～**°（倾斜），***°（旋转）； *.*.* 样品台 ** 重复精度：样品台不倾斜条件下 */* 轴移动重复精度≤***； ▲*.*.* 最大样品尺寸：最大样品直径*****（** 平面内可全部观察到）； *.*.* 样品座：配置具备导航功能的多孔样品座； ★*.*.* 配置能够控制马达台 * 个轴向快捷移动的摇杆控制器，配置多功能旋钮操作控制面板； *.*.* 样品台具有接触报警与自停功能； ▲*.*.* 接口** 个； ★*.*.** 能谱分析工作距离≤ *.***，取出角为 **°。 ★*.* 探测器： *.*.* 高真空样品室内*次电子探测器； ▲*.*.* 镜筒内*次电子探测器； *.*.* 样品室内可抽拉式背散射电子探测器（物理分割区域≥*）； *.*.* 样品室内彩色 *** 相机； ▲*.*.* 信号混合：任何两个探测器输入的信号能够以任何比例被混合，以增强图像信息； *.*.* 控制：手动、自动调节亮度和对比度控制； *.* 图像显示与处理与软件功能： ▲*.*.* 标准模式下无需拼图，单张图像最大采集分辨率不低于 ***&***;********; 像素； ▲*.*.* 图像显示分辨率不低于 ********* 像素； *.*.* 图像采集：像素平均、帧平均、帧积分、行平均、行积分、漂移校正帧平均、漂移校正帧积分； *.*.* 显示方式：全屏显示、分屏显示、灰度直方图、轮廓方式、伪彩色； *.*.* 图像注释与数据区：提供标准数据区和定制数据区，可在图片上显示各种电镜参数和字符； *.*.* 状态菜单：显示各种工作参数,可在成像后对图像的亮度，对比度，伽玛值实现更改； *.*.* 测量功能：可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量； *.*.* 图像输出输入功能； *.*.*.* 图像可存储到操作系统支持的存储介质或输出到打印机； ▲*.*.*.* 图像存储格式：***、***、***； ▲*.*.* 具备能谱仪 ***** 智能通讯接口，能谱仪软件可自动获取主机系统图像主要技术参数； *.* 真空系统： ▲*.*.* 抽真空系统： 涡轮分子泵：*** 立升/秒； 旋转泵：** 立方米/小时，超净无油泵； 离子泵。 *.*.* 样品室极限真空度：优于 *&***;*******-***;； ▲*.*.* 抽真空时间：≤* 分钟； *.*.* 真空系统控制：全自动。 *.* 工作站不低于以下配置： *.*.* 中央处理器：***** **-**** 处理器； *.*.* 内存；**** ****，无***； *.*.* 操作系统：*********® *******® ******； *.*.* ***系统：扫描控制、图像存储、图像处理、探测器控制； *.*.* 外部交换接口；****** *** ***； *.*.* 网络架构：**/***/**** **** ** ** *****； *.*.* 硬盘：最小** **** 硬盘； *.*.* 光驱：***+/- */**。 *.* 其他配件： *.*.* 配置静音闭路冷却水系统，用于冷却镜筒或其它部件； *.*.* 配置无油空气压缩机； *.*.* 配置不间断稳压电源。
*、能谱仪 ★*.*探测器：分析型***硅漂移电制冷探测器，有效面积不低于******，高分子超薄窗设计。封闭式真空系统，无需借助***抽放真空。 ★*.*能量分辨率：** **保证优于*****（@计数率***,******）； * ** 保证优于****（@计数率***,******）； * ** 保证优于****（@计数率***,******）； 保证符合*** *****:****标准。 ▲*.*元素分析范围：***～****。 *.*探测器可软件控制自动伸缩。 ▲*.*具备元素谱图及面分布实时刷新显示功能：在样品台静止状态、移动及改变放大倍数时，均可实时显示电子图像、元素谱图、不同元素分布以及它们的叠加图。样品停止移动时，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。可利用软件控制样品台移动及改变放大倍数。 *.*可记录样品预览过的位置，以便随时返回重新分析。并具备元素追踪功能，显示经过位置的不同元素含量变化。 *.*具备*峰修正功能，开机后无需重新修正峰位。 ▲*.*电子图像分辨率≥*********像素；元素面分布图分辨率≥*********像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。 *.*定性分析：可自动标识谱峰，可进行谱重构。 ★*.**具备***全谱线系数据库，配置****及***高低电压定量数据库，可覆盖不同电压下的定量分析。同时，用户可利用微束分析标样建立相应元素的数据库，进行有标样定量分析。
*、**** ★*.*高速低噪音****相机，分辨率*********，并能够与各主流型号的电镜良好配合； ★*.*****在线解析最高标定速度不低于*******，此时花样分辨率仍能保持为*******； *.*取向精度≥*.**度； *.*采用专门定制的光纤传导系统，光通量远大于透镜模组，特别适合弱信号分析； ★*.*专门设计的探头仰角自动调节马达，在探测器完全深入状态下，探测器*轴可通过软件在+/-**.* **范围内任意调整，而无需重新校准即可连续采集****数据； *.*配有独立的操作手柄，能够实时显示探头位置，可选择直达指定位置或者步进模式控制探头就位； ★*.*采用主动式防碰撞传感器设计，在碰撞发生前探测器自动预警并后撤，起到保护****作用； *.*探测器插入退出，最快速度：****/*，精度：≤**μ*； *.*软件配置 *.*.*操作软件采用多任务设计，可以同时并行数个任务，并支持分屏显示及远程控制； *.*.* 操作软件完全与能谱仪软件*体化，可根据能谱数据对****花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定，实现能谱****同时联机分析且不降速； *.*.* 电子图像分辨率≥*********，****面分布图分辨率≥*********； ★*.*.* 动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化。切换样品、更换分析位置、以及****探测器伸缩、倾转后均无需重新扣除背景或重新优化； *.*.* 能对所有对称性（从*斜到立方）晶体材料的****花样进行自动化的标定，且各相的反射面可以独立选择，并可以进行带宽修正，也可以对衍射带边缘及中间进行标定； *.*.* 配置自有数据库及****海量晶体学数据库，数据容量不小于*万种； *.*.* 采用最优化的*****变换，多条带标定方法（最多可以用**条菊池带进行标定），根据平均角度偏差***结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定； *.*.* 配有专用的高精度标定模式，实现更高角度分辨率的标定； ▲*.*.* 配有**位****数据后处理软件包，和采集软件同*风格，支持**种语言界面，可处理包含多至****万像素的单个文件，包含且不限于如下功能： （*）数据修饰； （*）晶粒统计（尺寸、形态等）； （*）晶界分析（特殊晶界、孪晶、***界面等、相邻及随机取向差曲线及其相似性分析等）； （*）应变分析（***，***，****，***等）； （*）极图和反极图； （*）校准****分析时由于漂移导致的与电子图像产生的失真；
*、产品配置 为达到上述技术指标，产品应配置必要的硬、软件，产品不低于以下配置： *.* 高分辨场发射扫描电子显微镜*套； *.* 高真空样品室内*次电子探测器*套； *.* 镜筒内*次电子探测器*套； *.* 样品室内可抽拉式背散射电子探测器（物理分割区域≥*）*套； *.* 样品室内彩色 *** 相机*套； *.*摇杆控制器及多功能旋钮操作控制面板*套； *.*原装空气压缩机和冷却循环水系统各*套； *.*不间断稳压电源*套，整机运行续航时间不低于*小时； *.* 能谱仪*套； *.** *****套； *.**配有专用***样品台*个及****专业离线数据处理软件*套； *.** 离子溅射仪*套； *.**原厂灯丝光阑*套（含安装调试） *.**导电胶带*卷，导电胶*瓶，镊子*个，样品盒*个等； *.**振动抛光机*台 *.**高纯氮气*瓶，氮气减压阀*个，空气开关*个，大孔插排*个，纯净水*桶。 | 
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