合肥国家实验室反应离子刻蚀机采购项目单一来源采购公示

合肥国家实验室反应离子刻蚀机采购项目单*来源采购公示

*、项目信息

采购人：合肥国家实验室

项目名称：合肥国家实验室反应离子刻蚀机采购项目

拟采购的货物或服务的说明：合肥国家实验室拟购置*台反应离子刻蚀机

拟采购的货物或服务的预算金额：*******.**人民币

采用单*来源采购方式的原因及说明：本项目对超导单光子探测器性能要求达到极限指标，对几个纳米厚度几个毫米长度的纳米线的性能有严苛要求，需要纳米线具有非常高的均匀性和*致性，因此对刻蚀工艺要求苛刻。此外，按照项目研究计划，将进*步研制超导纳米线单光子阵列探测器芯片，随着阵列规模的增加，对大面积纳米线薄膜刻蚀工艺的稳定性、均匀性及重复性要求更加严苛；目前的刻蚀机已经无法满足极限器件制备的要求，有必要采购*台反应离子刻蚀机，用于*** 等超导材料的刻蚀。机台具体技术指标如下： *.铝材反应室，内径不小于*** **，反应室盖子气体驱动自动开关； *.平行板式电极，电极间距****，下电极尺寸不小于*****，可处理*英寸及*英寸以下的样品； *.反应室进气方式：上盖喷头（**********）进气；*角对称型垂直向下排气，*”口径闸板阀，自动压力控制； 进气和排气为完全对称式设计； *.样品基座冷却水冷却，设备内冷却水管带防冷凝套管；设备配水冷机； *.配置**.** ***射频（**）电源，功率不小于*** *；自动匹配，在正常稳定工艺条件下反射功率小于* *； *.*路工艺气体：***，***，****，**，**；配置***，控制精度&***;***%的全量程；所有工艺气体管道采用*** ****管道，***接头； *.反应室配置薄膜真空计和全量程真空计，薄膜真空计最大量程不小于*****； *.反应室配置涡轮分子泵（*** */***）和干泵（*** */***），极限真空&***;******-*** *.设备使用分子泵、干泵、闸板阀、***都必须为全球知名品牌； **.设备占地面积要尽量小，集成气体控制箱，使用触摸屏操作； **.设备需配置充分的自动检测和报警系统，包括冷却水流量检测、冷却水漏水检测、***压力检测等，设备阀门、真空泵、**等需要防误操作的安全互锁；配***按钮； **.刻蚀*”****样品：刻蚀速度&***;**** **/***；片内均匀性≤±*%（除边***）；

刻蚀超薄超导薄膜是制备超导单光子探测器的关键工艺，经过多次调研和反复对比，目前只有日本*****公司的反应离子刻蚀机系统可以满足超导纳米线精细刻蚀的要求，刻蚀得到的纳米线边沿陡直，均匀性好，特别适合大面积的***超导纳米线的刻蚀，目前其他同类设备均无法实现高质量大面积超导纳米线的精细刻蚀。因此申请采用单*来源采购方式从该公司采购*台***-****刻蚀机系统。

*、拟定供应商信息

名称：日本***** ***.

地址：** ******-***, ******, *******-**, ***** ***-**** *****

*、公示期限

公示期限：*个工作日（****年*月**日-****年*月**日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面形式向安徽省招标集团股份有限公司反映。

*、联系方式

*.采购人：合肥国家实验室

联 系 人：赵鑫

联系地址：合肥市蜀山区望江西路****号

联系电话：****-********

邮箱：*******@****.***.**

*.采购代理机构：安徽省招标集团股份有限公司

联 系 人：刘志凌、张文奇

联系地址：安徽省合肥市包河大道***号

联系电话：****-********、********、***********

*、附件

*.专家论证意见