*、紧凑的台式设备、可调节的** 功率、符合** 安全标准。
*、清洗舱:长*.* (*****)英寸,直径* (*****)英寸;
*、常用工作气体:空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等
*、*/* 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力
*、*/* 英寸标准锥管螺纹*通阀便于气体混合,隔离舱体和排气的快速切换
*、整机尺寸:**"* * **"* * *"*(***** * ***** * *****)
档位功率设置:输入功率****
*、功率为低、中、高档可调,应用射频线圈,产生的等离子功率对应表:
低档功率范围:电压**** ** 电流** ** **工作功率 *.***
中档功率范围:电压**** **电流** ** **工作功率**.***
高档功率范围:电压**** **电流** ** **工作功率**.**
*、真空托盘,调整待处理样品的放置高度,确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。
*、需配置原装进口高级无油真空泵系统,抽气速率*.*立方米每小时,支持各类活性气体的等离子体清洗处理;附带软管、软管箍、进气道适配器,定心环和摆动钳等连接套件。
**、安捷伦真空计:可以实时显示处理腔体内的真空值,有助于提高样品处理的可重复性