真空探针测试台主要是提供*个真空测试平台环境,可以实现对器件进行非破坏性的测试,配合适合的电学仪表、光学仪表,它可以对材料或器件进行**,**,**和光电等实验。**** *****品牌的真空探针测试台产自美国,其主要参数如下: *.探针臂配置:*个直流探针臂,可进行直流到*****的射频测量,探针臂的漏电流要求小于*****,整体带有**欧姆的匹配阻抗。 *.探针臂的***方向移动范围:可移动的*、*、*方向距离分别不小于****、****、****。 *.探针:①.所有探针的电绝缘要求大于****欧姆;②.所有探针带有*****保护设计,防止或极大的减小探针造成的漏电。③.所有探针带有**欧姆匹配阻抗,适合**测试。④.所有探针都带有样品座热沉设计。 *)显微镜系统:①.光学分辨率优于*.*μ* ②.带有同轴光和环形光两种光源。③.带有**英寸高分辨率的品牌显示器。 *)样品座:标准*.**英寸接地样品座。 *)探针数量:探针总计为*套,其中柔性探针为*套。 *)探针台真空度可以达到*×**-*****。