渤海大学松山校区超净实验室改造竞争性谈判公告

序号

采购品目

技术参数及要求

数量

单位

*

纳米压印光刻

机

*．技术参数

*、曝光面积：不小于* 英寸

*、曝光波长：***~*****

*、分辨力：不大于*.***

*、对准精度：不大于&***;*******.***;

*、★掩模样片整体运动范围：*：优于*****:优于****

*、掩模尺寸：*.* 英寸、* 英寸、* 英寸、* 英寸

*、样片尺寸：直径Φ****-- Φ*****(各种不规则片)

*、厚度 *.***--***(可扩展为 ****)

*、曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量

**、具备真空接触曝光、以及接近式曝光等功能

**、照明不均匀性：&***;*******;%（Φ***** 范围）

**、★双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过***+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大*** 倍；物镜*对：* 倍、** 倍、** 倍；目镜*对：** 倍、** 倍、** 倍

**、数字设定对准间隙和曝光间隙

**、最大焦厚：不低于*****（*** 胶）

**、光源平行性：优于*.* º

**、曝光能量密度：&***;******;/***,照明面温度&***;****; º

**、★汞灯功率：不低于****（原装进口汞灯）

**、★具备压印模块接口，也具备接近模块接口，压印参数为：

（*）压印分辨力：不高于**** （*） 压力控制范围：****-*.****，数字设定压力大小； （*）压印面积：不低于Φ****；

**、触摸屏操作，掩模光刻与纳米压印光刻操作界面独立，且可随意切换

**：打印机*台：黑白激光打印机 多功能*体机打印复印扫描功能。打印速度**页/分钟，复印速度**页/分钟。扫描分辨率****的***，位深**位。工作负荷：****页。处理器速度******。

**.真空泵*台（无油泵）

**.空压机*台（静音泵）

*

*

匀胶机

*、★转速设置范围:***转/分(或更低)～*****转/分

*、匀胶时间设置范围:*～****秒

*、转速稳定度:&***;*******;%

*、胶的均匀性:&***;*******;%

*、额定转速：********

*、样片托配备*个。

*、★干泵*台

*

*

快速退火炉

技术参数：：

*.★额定功率：不低于***

*.★最高温度：不低于****℃

*.连续工作：***℃（＜*小时）

*.加热区长度：不低于*****

*.恒温区长度：不低于*****

*.控温精度：&***;*******;℃

*.石英管尺寸：不低于φ**

*.滑动距离：不低于*****

*.最大降温速率：***到***的降温速度：*****

**.炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。

**.电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有***调节、模糊控制、自整定功能，并可编制各种升降温程序。

*

*

反应离子刻蚀机

*、★设备选用整体优质航空铝材精密加工制造而成，内部做特殊阳极氧化处理。腔体尺寸：不小于Φ*********；

*、★刻蚀电极台：电极台可自动升降，调整刻蚀距离，调节范围：**-****,尺寸：不低于Φ*****；

*、 极限真空：≤*.****^-***（

*、 抽气速率：从大气抽至*.****^-***时间≤**分钟

*、 系统漏率：优于*.*****-***&***;*******;/*

*、升压率：停泵关机**小时后真空度小于***

*、 最大有效刻蚀样片尺寸：不低于Φ*英寸

*、 *英寸内均匀性：≤&***;*******;%

*、刻蚀速率：**：大于等于******/***

*****生长的****：大于等于*****/***

**、工艺供气：不低于*路供气；

**、分子泵*台，抽速不低于****/*，

**、★自动压力控制系统*套含进口薄膜真空计

**、★质量流量控制器：不低于*台，标定气体：至少包括氧气、氩气、***、****；

**、自动控制系统*套，含***模块、工控机、显示器控制软件等；

**、冷却水系统*套

*

*

扩散炉

*

*

真空烘箱

*、电源电压：****&***;*********;/**/****

*、输入功率：*****

*、控温范围：室温+*～***℃

*、波动度：&***;*******;℃

*、达到真空度：*****

*、定时范围：*～***分钟

*、★容积：不低于***

*、加热方式：套式加热

*、载物托架：不低于*块

**、★真空泵*台。

*

*

纯水机

*.★系统产水量(**℃)：不低于**升/小时

*.**超纯水指标：

*.电阻率：**.***Ω.**@**℃

*.★电导率：*.*****/**@**℃(＜*.***/**)

*.重金属离子(***)：&***;***.****;

*.总有机碳(***)：&***;*******;

*.细菌：&***;***.****;/**

*.微生物/细菌：&***;******;/**

*.颗粒物(&***;***.*;μ*) ：&***;***;/**

**.**反渗透水指标：

**.***(总固体溶解度,***)：≤进水

***&***;******;%(稳定脱盐率≥**%)

**.*价离子分离率：**%-**%（使用

新**膜时）

**.有机物分离率：&***;****;%，当**&***;*****;

******

**.颗粒和细菌分离率：&***;****;%

**.★自带便携式***测试笔。

*

*

器件自动老化系统

*.★单点温度稳定性：**～***℃ &***;*******.*;℃/***

*.★最大可控升温速度：不低于***℃/***

*.最大降温速度：不低于**℃/***

*.器件检测电流范围：*.***-**

*.器件检测电压范围：*.***-***

*.采样时间：*-***

功能：

*.适应范围：*极管、*极管、***管、运放等半导体器件

*.数据记录：自动

*.通信：*****

**.显示：老化曲线

**.器件最大尺寸：不低于*英寸

**.过程控制：程序设定

**.软件系统：自动老化控制系统（*******操作系统）

*

*

通风橱

*.台面：采用国产不低于**.***厚实芯理化板，镶边至不低于**.***厚，耐酸碱、耐腐蚀、易清洗并可抑制细菌；

*.柜体：采用不低于*.***厚冷轧钢板制作，表面经酸洗磷化处理（注：钢板进行去油、除锈，使其表面形成*层保护膜，增大上粉率及牢固性）、环氧树脂喷涂以及烘箱高温固化；

*.内衬板：采用不低于***厚抗贝特板，具有防水、耐撞击和易清洗维护等特性；

*.导流板：采用不低于***厚抗贝特板，合理的*段可拆式导流结构，排风集中、高效，使处于不同高度的有毒气体能够迅速排放；

*.视窗:采用不低于***钢化玻璃；

*.地脚:采用钢制万向调整脚，具有承重性能好、防震、坚固耐用等特点；

*.开关:采用微电子触摸式开关； *.照明:两个荧光灯管，快速启动类型，**标准。镇流器安装在通风柜外部。照明罩内部白色，高反射的塑料材质。照明装置上面有安全玻璃面板，并且和柜体密封。照明亮度：不低于*********。 *.标准尺寸：不低于*************（长*宽*高）

*

**

实验用品柜

阻燃更衣柜

材质：铁质

*门

尺寸：*******************

*人位

*

**

实验用品柜

阻燃更衣柜

材质：铁质

*门

尺寸：******************

*人位

*

**

实验桌椅

单桌尺寸不低于****.**，

板材厚度不低于*.***，

每桌配办公铁质网布坐椅*把。

*

**

药品柜

*、药品柜（试剂柜）*开门样式，上部为透明玻璃开门，下部为不透明板门。

*、上部柜内隔层为阶梯式或平板式。

*、柜体板：柜体：采用抗强酸碱耐化学药品，耐冲击磁白色**板(原装进口)承制，焊接*体成型，厚度不低于***，抗强酸、化学药品，耐冲击，耐腐蚀，不生锈

*

**

服务器

市场常用品牌服务器

***：*颗***** **** *********** **核**线程 主频*.**

内存：******* ****以上

硬盘：****+**

显卡：*******-**独显

显示器：**寸

*******系统

满足有限元仿真应用

*

**

柜机空调

市面常用品牌空调

*级能效；

变频冷暖；

高温自清洁；

立式柜机；

*匹 。

*

**

黑白激光打印机

多功能*体机

无线打印复印扫描传真功能。

黑白打印速度不低于*****，打印分辨率不低于**********。

复印速度不低于*****，复印分辨率：黑白不低于**********；彩色不低于**********。缩放范围**-***%。扫描分辨率不低于************。扫描速度：黑白不低于****；彩色不低于****。

****直连，无线直接打印功能。

*