北京大学深圳研究生院 - 竞价公告 (CB10001SZ2020000011)

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镀膜机

*台

亚润丰

**-******

*.真空室： 真空室为方形腔体，全部采用******不锈钢制成，尺寸大致为*****×*****×*****。真空室装有两个可以完全打开的门，前门为快开门，打开后可以对腔体内部进行维护，配有两个观察窗。后面是推拉门，可以与手套箱连接。 腔体的极限真空为****-***，在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空可在**分钟内达到的真空度为：****-***。 *.基片装置 磁力传动的旋转基片架可放*个基片。基片最大尺寸为*个*********的基片。基片可加热，加热温度为室-***℃。（加热电源与有机加热电源共用）蒸镀均匀度优于±*%。基片总挡板，气动控制，通过触摸屏操作。 *.蒸发源 设备共有*个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源*套，电极式金属蒸发源*套。 蒸发源都配有独立的电动挡板，可单独打开或关闭，操作在触摸屏上完成。每个源有独立防污罩，防止源与源之间的污染。有机源加热温度均匀，寿命长达****小时以上，温度可达到***℃。保温和控温性能优越，多源间没有温度干扰。金属源采用水冷电极，蒸发舟尺寸为****。有机蒸发电源*套，采用控温表控温，控温精度可达到±*℃。速率控制精度为±*.*Å。温度调节在触摸屏上均可完成。（基片加热电源借用其中*套有机加热电源中的*路）。金属蒸发电源*套，最大功率为*.***。采用百分比功率控制，操作及切换在触摸屏上均可完成。速率控制精度为±*.*Å *.膜厚测量 *个水冷膜厚探头：安装在蒸发源上方。 *.真空系统 久泰真空脂润滑分子泵，抽速：*****/* *****机械泵 ***** ****/* 抽速约：**/*复合真空计，测量范围大气---****-*** *.控制系统 设备采用***触摸屏控制，设备的所有操作在触摸屏上完成。触摸屏尺寸为**英寸，控制内容包括：机械泵、分子泵、阀的启、停；在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统；基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。 *.独立可更换衬板 真空室配有衬板系统，便于清洗及更换，减小了真空室的污染。保证真空室清洁，对器件质量的提升有很大的帮助

安装调试后*年，机械泵保质期为**年，分子泵保质期为*年