[定向采购]东北师范大学物理学院三五族材料感应耦合离子刻蚀系统定向采购公示

吉林省汇通招标投标代理有限公司[联系方式]受东北师范大学[联系方式]委托，对项目编号为“********-***”的“东北师范大学[联系方式]物理学院**族材料感应耦合离子刻蚀系统采购”项目进行定向采购，本项目已具备采购条件，采购人为东北师范大学[联系方式]，拟通过定向邀请意向供应商的方式实施。

*、项目概况：

*.*项目名称：东北师范大学[联系方式]物理学院**族材料感应耦合离子刻蚀系统采购

*.*项目编号：********-***

*.*采购方式：定向采购

*.*采购预算：人民币**万元；

*.*质量标准：符合相关行业标准

*.*供货期：合同签订之日起**日内完成交付

*.*供货地点：东北师范大学[联系方式]。

*.*质保期：两年

*、采购标的及意向：

*.*采购标的

*.*.*标的物名称及数量：**族材料感应耦合离子刻蚀系统，*（套）

*.*.*品牌及型号：北京中科泰龙电子技术有限公司/***-*-***

*.*定向采购意向

*.*.*意向供应商名称：北京中科泰龙电子技术有限公司

*.*.*意向价格：人民币**万元

*、定向采购方式的原因及相关说明：

物理学院本次采购感应耦合离子刻蚀机，主要用来刻蚀Ⅲ-Ⅴ族材料，制备Ⅲ-Ⅴ族器件。该设备具有各向异性强，刻蚀速率稳定，材料适用性强等特点。可以为物理学院紫外光电材料与器件的研究方向提供良好的支撑作用。

根据调研，目前国内科研领域的感应耦合离子刻蚀机厂商中，北京中科泰龙电子技术有限公司具有较强的科研实力、工艺基础及制造经验。该公司**%以上股份属于中国科学院微电子研究所，其核心研发团队也都是由中国科学院微电子研究所人员组成。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所宋航课题组和中国科学院半导体研究所肖金龙课题组都在使用该公司设备，经过工艺优化，可以实现垂直刻蚀，满足器件需要，实现Ⅲ-Ⅴ族器件，目前半导体所已有相关量产产品。我院在异质结刻蚀过程中要求能够精准刻蚀到异质结交界处，因此对设备的长期的稳定性要求极高。而该公司已有现成工艺及经验保证设备的长期稳定性。

该公司团队在针对性设备改造也有相当丰富的经验，例如在针对性器件制备中，自偏压对于器件制备是是个双刃剑，如何实现对电子损伤的屏蔽并且同时达到刻蚀效果的平衡，该公司均具备成熟经验，对未来物理学院在新材料、新器件刻蚀中也可起到至关重要的作用。国内设备厂商均不具备这种能力。我院本次拟采购的***-*-***感应耦合离子刻蚀机，未来我院可能会在此设备基础上增加终点刻蚀检测设备，以实现异质结的精准刻蚀，国内能实现此项功能的厂商除了中科泰龙之外，只有少数厂家具有这种能力，但是价格动辄数百万，性价比较低。经过市场调研，从设备的整体配置，运行的稳定性，将来的升级维护方面，中科泰龙的性价比较高。该公司目前对***-*-***感应耦合离子刻蚀机所配射频电源为深圳恒运昌公司生产的*****系列，其射频团队技术来源于美国******** ******公司，因此性能上与进口电源性能近似，但匹配时间较进口电源慢*秒以内，但在国内品牌已属最好。综上，北京中科泰龙电子技术有限公司生产的感应耦合离子刻蚀机是物理学院开展相关工作研究亟需的，也是其他公司达不到的，具有唯*性。

综上，拟通过定向采购方式采购*套中科泰龙/***-*-*****族材料感应耦合离子刻蚀系统，北京中科泰龙电子技术有限公司为该设备的生产厂家，拟确定为定向采购谈判供应商。

*、公示发布媒介：

本公示在东北师范大学[联系方式]政府采购与招标管理中心网站发布。

*、质疑要求：

各有关当事人对本项目有异议的，可以以书面形式向东北师范大学[联系方式]政府采购与招标管理中心提出质疑，公示日期为****年**月**日至****年**月**日，逾期将不再受理。

*、采购人联系方式和联系电话：

采购人：东北师范大学[联系方式]

地 址：吉林省长春市人民大街****号

联系人：于老师 联系电话：****-********

联系人（技术咨询）：李老师 联系电话：***********

采购代理机构：吉林省汇通招标投标代理有限公司[联系方式]

地址：长春市翔运街与振武*胡同交汇西行*米

联系人：范女士 联系电话：****-********

****年**月**日