生物岛实验室 - 竞价公告 (CBGRMHGDL2020000507)

*

磁控溅射镀膜机

*

*

*

关键技术参数需求 *. 腔体尺寸：直径******高***** *. 极限真空度：≤*.****-*** *. 系统漏率：****-***.*/* *. 静态升压：系统停泵关机***后，真空度≤*** *. 抽真空时间：抽至****-***，时间≤***** *. ▲磁控靶配置：带角度调节直径****磁控靶*支 *. 清洗：支持偏压清洗 *. 辅助沉积：支持辅助沉积 *. 样品数量：*寸样片*片或小样品数片 **. 溅射不均匀性：≤±*%（直径*寸范围内），≤±*%（直径*寸范围内） **. 样品加热：最高***℃，温度均匀性±*%（灯光辐照，样品镂空） **. 腔体侧壁烘烤加热：有 **. 工艺气体：**，** **. ▲电源：射频源：****，**，自动匹配 直流源：***** **. 压力控制：自动 **. 载片(******)：直径小于*****的各种基片(** ** *** ** ******) **. 气体(*** *****)：**、**、** **. 靶源(********* ********** *******)：*个*吋标准磁控靶，功率**** (**** * - **** ******** ********，***** ****) **. 样品台转速及温度范围(******** ***** ** *** *********** ***** ** *** ****** *****)：最高转速** ***，室温至*** ℃ (** ** ** ***, *** **** *********** ** ** *** ℃) **. 薄膜不均匀度(*************)：＜ *% *、特殊配件或耗材需求 ▲*.水冷工件盘*个（可与加热工件盘互换）。 ▲*.阳极层离子源*支。 ▲*.进口全量程真空规*套。 ▲*.循环水机*台。 带▲的参数为重要技术参数，请优先配置，如果不能配置，请说明原因。

按行业标准提供服务