材料系材料原位真空微纳表征系统需求公示

序号

货物名称

招标技术要求

*

场发射扫描电镜

*.*运行环境：

*.*.* 房间温度：** ~ **℃

*.*.*相对湿度：小于**%

*.*.*适用电源：单相，****±**%，**/****，****，要求连续供电

*.*.*地线：接地电阻范围**Ω~***Ω

*.*电子光学系统：

★*.*.* 分辨率：&***;***.***;@****；≤ *.***@***

*.*.*加速电压：最低 *.***； 最高 ****；*.***/步

*.*.*着*电压：*.** -****（减速模式）

*.*.*放大倍数：最小 &***;****;倍； 最大≤ ***万倍（底片模式）

▲*.*.*电子枪：冷场发射电子枪

▲*.*.* 配备**年场发射灯丝耗材

★*.*.*最大电子束流： ≦****，且连续可变

▲*.*.*物镜光栏：内外加热自清洁式，*孔，可移动物镜光栏

*.*样品室：

*.*.*样品台： *轴自动马达驱动，机械优中心

*.*.*样品移动：*&***;***-*****;；*&***;***-*****;；*&***;***.*-;****；* = ***°连续旋转，*&***;**-*;～ +**°

*.*.*样品防撞警报装置：有

*.*.*容纳样品尺寸：&***;*******;直径

*.*.*样品换样方式

▲*.*.*.*配备交换仓，交换仓端面透明，可观察到样品交换过程

▲*.*.*.*交换仓能容纳&***;********;的样品

*.*.*.*具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落

*.*.*检测器： 配有顶位、高位以及低位*次电子探测器，顶位探测器可选择接收*次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收*次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（***）可以得到背散射电子图像

*.*真空系统：

▲*.*.*真空泵:

机械泵:****/*

涡轮分子泵（磁悬浮型）:****/*

*级离子泵:***/*×*, ***/*×*

*.*.*真空度：电子枪部分优于**-***；样品室部分优于**-***

*.*.*保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统

*.*.*样品更换抽真空时间：&***;***;分钟

*.*图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告

*.*数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等

*.*图像显示：不低于****×***像素

*.*图像储存：***×***，****×***，****×****，****×****像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息

*.*图像类型： ****, ***或****

*.**信号/图像处理功能：

像素积分改善*/*，框架积分，彩色图像显示，*色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理）

*.**保存图像处理：

可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名

*.**用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护

*.**防污染措施：防污染冷阱

▲*.**订制样品台：包含*个电流电压测试单元；电流测量范围：***-****，*个量程；电流分辨率：优于*****

*

离子溅射仪

▲*.*与电镜同*精度配套型号

*.*含镀金镀碳*种功能

*.*最大样品尺寸：直径****，高度****

*.*溅射电流：*-****

*.*溅射时间：*~****

*.*靶材：**靶材

*

能谱仪&***;电子背散射衍射仪

*.*探测器：硅漂移（***）电制冷探测器探头系统，采用场效应管（***）*体化集成设计的高速***芯片，探测器具有*****有效活区面积，超薄窗设计，独立真空

*.*能量分辨率：在双探测器总***,******条件下** **保证优于*****，轻元素分辨率：*-*/****, *-*/****

*.*采用纤细化等技术提高固体角，单个探指直径仅**.***，改善系统分析效率

▲*.*能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率优于***,******，可处理最大计数率优于*,***,******

▲*.*配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(*, *, * 和 *线系)，实现*-****精确定量

*.*定量分析：标配*/*-***以及***修正的*******定量方法，可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归*化和非归*化定量结果，可以用化学配位法得到非归*化结果

*.*高速高灵敏***相机：高端********相机， ***×***像素，在****下可采集到清晰菊池花样

*.*花样采集速度：***花样/秒@*×***********花样/秒@*×********，并且在低至***时可采集到清晰菊池花样，角分辨率达到*.*°

*.*原位**** 探测器倾斜角度调节：可在原位进行垂直方向+/-*.* 度角倾斜，电子传感器自动读取倾斜角

*.**标配两个磷荧光屏

*.**可实现***谱图采集与****花样采集同步，同步采集速度可达****/*，*衍射花样的再处理不低于**,****/*；

*

原位定量纳米力学测试仪

*.*测试系统的本征控制模式必须是本征位置控制，不允许通过反馈来实现位置控制

▲*.*采用压电陶瓷来实现驱动施加载荷，采用电容式位置传感器和基于 **** 的电容式力传感 器

*.*最大载荷：&***;*****; **

▲*.*纵向载荷背景噪音（** ** 下测量）&***;***.***;

*.*最大压痕深度：&***;****; μ*

▲*.*位移背景噪音（** ** 下测量）&***;***.**; **

*.*通过内置的压电陶瓷控制样品的精准定位

*.*样品台可移动范围：*&***;****; **，*&***;******;，*&***;******;

*.* */*/*定位分辨率：&***;***; **

*.**具有旋转轴，样品能围绕测量方向旋转

*.**样品台旋转范围：&***;*****;°

*.**样品台旋转分辨率：&***;***.******;°

*.**样品转轮能在不更换样品的情况下实现至少 * 个直径不小于 ** ** 样品的原位力学测试

*.**具有纳米划痕模块，通过两个独立的压电陶瓷来实现驱动，采用独立的电容式位置传感器 和*个电容式*维力传感器

*.**纳米划痕实验的最大横向力: &***;******;

*.**纳米划痕实验的最大横向位移：&***;****; **

*.**纳米划痕实验的横向载荷背景噪声（** ** 下测量）：&***;*****; **

*.**纳米划痕实验的横向位移背景噪音（** ** 下测量）&***;***.**; **

*.**具有连续的载荷、位移数据随时间变化的实时数据的功能

*.**具有载荷控制功能以及位置控制功能

*.**可以在 *** 内控制原位拉伸、压缩、断裂、疲劳、蠕变、纳米压痕（含 ***）、 纳米划痕、 纳米摩损等力学测试

*.**可与 ***分析部件联用，可在力学测试同时通过 **、****、***、****等探头进行原位观察

*.**具备原位 *** 成像功能，可以对样品进行连续不间断的 ** 原位扫描成像

*.**提供硬件级别传感器保护模式，防止微力传感探针的力学过载

*.**包含基于*******操作系统的微力测试软件、微操作软件；允许用户生成自定义的微力测试 程序

*.**软件使测量数据(比如力和位移、力和时间数据等)可视化，可记录和导出数据(.*** 或.***)

*.**连续刚度测量(***)频率: &***;*****; **

*.**最大疲劳测试频率: &***;*****; **

*.**数据采集率: &***;*********;

*

阴极荧光光谱仪

*.*具有阴极荧光全谱成像、单谱成像和单光谱分析功能

▲*.*配置自动切换*光栅谱仪，谱仪焦距*****

▲*.*光栅台为*光栅台，谱仪安装*块光栅，软件控制切换：

*****/**光栅，闪耀波长*****

*****/**光栅，闪耀波长*****

******/**光栅，闪耀波长*****

▲*.**档滤光片轮，装配有***滤光片，软件控制

*.*光谱探测范围***-*****

*.*光谱仪入口和出口狭缝宽度可调，可调范围*-***

*.*椭球镜工作距离可低于****

*.*具有电子束扫描控制及电镜图像采集功能

*.*具有阴极荧光光谱线/面分布功能

*.**软件自动控制荧光收集装置伸缩，伸缩尺寸满足电镜样品室要求

*.**荧光收集装置预对中调整

*.**高性能椭球反射镜，理想荧光收集效率大于**%

*.**光纤传导，光纤长度大于**

序号

目录

招标商务需求

（*）免费保修期内售后服务要求

*

维修响应及故障解决时间

在保修期内，*旦发生质量问题，投标人保证在接到通知**小时内赶到现场进行修理或更换。

*

关于免费保修期

*.*货物免费保修期*年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

*.*保修期间维修及*件更换费用由厂家负担。

*

其他

*.*在合同生效后的*个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询。

*.* 仪器到达用户所在地，在接到用户通知后*周内进行安装调试，直至通过验收。

*.* 技术培训：在用户所在地对用户进行为期*周的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。验收后半年内组织买方相关人员*人参加在厂家举办的相关应用培训班。

（*）其他商务要求

*

关于交货

*.*交货地点：南方科技大学

*.*投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

*.*签订合同后***天（日历日）内交货。

*

关于验收

*.*投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

*.*当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

*、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

*、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

*、货物具备产品合格证。

*

关于违约

*.*中标人不能交货的，需偿付不能交货部分货款的*%的违约金并按主管部门相关规定处理。

*.*中标人逾期交货的，将被没收履约保证金并按主管部门相关规定处理。

*.*中标人所交付产品、工程或服务不符合其投标承诺的，或在投标阶段为了中标而盲目虚假承诺、低价恶性竞争，在履约阶段则通过偷工减料、以次充好而获取利润的，将被没收履约保证金，并被深圳市政府采购中心评为履约等级“差”并按主管部门相关规定处理。

*

关于付款

*、合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款；设备到达指定安装现场并安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的**%；尾款*%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。

序号

评分项

权重

*

价格

**

*

技术部分

**

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

*

技术规格偏离情况

**

专家打分

投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得***分，每偏离*项重要参数，扣**分；每偏离*项*般参数，扣*分；合计扣分不超过***分。

*

商务需求

*

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

*

免费保修期内售后服务条款偏离情况

*

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得***分，每负偏离*项扣**分。

*

其他商务条款偏离情况

*

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得***分，每负偏离*项扣**分。

*

诚信情况

*

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

*

诚信

*

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于印发〈深圳市政府采购供应商诚信管理暂行办法操作细则〉的通知》（深财购[****]**号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题且在主管部门相关处理措施实施期限内的，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由工作人员向评审委员会提供相关信息。

*

履约

*

专家打分

近*年（以投标截止日期为准）在市政府采购中心有履约评价为差的记录，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。

*

疫情防控

*

*

疫情防控重点保障企业

*

专家打分

纳入全国性名单或地方性名单的疫情防控重点保障企业（以下简称“重点保障企业”），直接参与我市政府采购投标的，提供至少*项自身属于重点保障企业的证明材料（名单查询网页链接、名单网页截图、政府部门出具的文件或者企业享受重点保障企业优惠政策的其他证明文件均可），即可获得评审得分。

*

稳岗企业

*

专家打分

未裁员或裁员率低于**%的企业，即投标前*个月实际参加社会保险（至少包括养老保险）的员工人数（含免缴或延期缴纳社会保险人数）不低于 **** 年 ** 月同口径人数 **%（含）的企业，视为稳岗企业，提供自身符合稳岗企业条件的承诺函即可获得评审得分。

投标人提供虚假承诺的，将做无效投标处理，涉嫌存在违法违规行为的，依法报主管部门处理处罚。