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深圳大学-竞价结果详情(CB105902017001230)

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标签: 加工系统 仪器仪表
更新时间 2017-09-20 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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基本信息:
申购单主题: 半导体器件加工系统
申购单类型: 竞价类
设备类别: 仪器仪表
使用币种: 人民币
竞价开始时间: ****-**-** **:**
竞价结束时间: ****-**-** **:** 竞价已结束
申购备注:
申购设备详情:
中标供应商 设备名称 数量 品牌 型号 售后服务 规格配置 中标单价 中标理由
自报价厂商:************ 半导体器件加工系统 * ******/*******/昆山舒美/赛多利斯/艾本德 *****/**-*****-******/******** /*******/******** **** 按行业标准提供服务 *.加热磁力搅拌器技术参数: *、加热板材质:玻璃陶瓷;*、加热板尺寸:方形,面积*********;*、加热区域:*********;*、加热器功率:****;*、加热板最高温度:室温-***℃,刻度显示;*、搅拌转速范围:***-*******;*、最大搅拌容量:***;*、当加热板在**℃以上时,热警指示灯会闪烁示警,无论电源是否接通;*、仪器表面涂层中有*%的**离子,可以抑制微生物滋生;**、外接温度计分体式结构,面板和温度探针可分开,避免样品挥发时的气体对温度计的面板造成损坏。**、仪器配置:主机,数显型的外接温度计、支架、夹头各*套 *.匀胶旋涂仪技术参数 *.*智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;*.* 防腐装置;*.* 设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;*.*通信接口,蓝牙连接*、处理腔体;*.*处理腔体内径不小于*.*英寸 (***毫米);*.* *****芯片尺寸至少满足**-*****直径的材料,方片*********,无需更换片托;*.*腔体具有易清洁的***天然聚丙烯材质;*、 旋转马达;*.*转动速度至少满足*-**,******;*.*旋涂加速度不小于**,******/***;*.*马达旋涂转速稳定性能误差不超过±*%;*、控制系统 *.*工艺时间设定范围至少满足*-****.* ***/**** ,精度不超过*.**;*.* 配有高精度***可编程的控制器,设置点精度小于*.***%;*.*可存储不少于**个程序段,每个程序段可设置不少于**个不同步骤的速度状态;*.* 分辨率要小于*.****,重复性误差要小于±*.****,具有国际标准认证,并且无需再校准;*、配套泵浦;*.* 配套真空泵系统:无油型 ***~***伏交流,**/**赫兹;*.* 真空吸附范围**-** 英寸汞柱 (~***-***毫米汞柱)可调节,抽速不小于*.* **** (*.** 立方米/分钟) ;*、系统附件;*.* 免费赠送基于*******的操作软件;*.* 原装进口水平测试仪; *.*两袋密封圈; *.* 配有两套可更换的废液接收单元;*.超声波清洗器技术参数;*.仪器尺寸:***********(**)*.内槽尺寸:***********(**);*.容 量:***;*.频率:*****;*.功率:**** *****.* 总价最低原则



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