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比比招标网> 中标公告 > PECVD 系统（带滑轨）管式炉采购
| 更新时间 | 2024-01-18 | 招标单位 | 我要查看 |
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| 申购单主题： | ***** 系统（带滑轨）管式炉采购 | 申购单位： | 深圳超滑技术研究所 | ||||
| 申购备注： | 中标商必须开具增值税专用发票 | ||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| ***** 系统（带滑轨）管式炉采购 | 不指定品牌 | 不指定型号 | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | *：▲ 电源：******/**** · 功率：*.*** · 加热区长度：***** · 最高温度：**** 度(≤*****） · 工作温度：**** 度 · 热电偶：* 型 · 智能化仪表，*** 控制，** 段程序控温 · 炉体可滑动位移：***** · 炉管尺寸： φ********* *：▲射频电源·功率输出范围：*-**** ·功率稳定度：≤±** ·射频频率：**.***** ·自动匹配 ·噪音：≤**** ·冷却方式：风冷 ** ·标配*套不锈钢真空法兰 ·进气端法兰上安装了*个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-*.*-*.*****；*个φ*.**的卡套接头作为进气口使用，并通过*个不锈钢针阀控制进气的通断；·出气端法兰包含*个φ***宝塔气嘴的出气口，并通过*个不锈钢针阀控制出气的通断。*个****接口为抽真空接口，用于连接真空系统。*个****的接口用于连接电阻真空计。 *▲真空系统• ***-******, 单相, **/****，压力恒定控制系统 *• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： *******（* *****）-----******（* *******）（按照进气量为 *******）； ********（****）-----*******（*******）（按照进气量为 *******） ********（****）-----*******（*******）（按照进气量为 *******） ********（****）-----*******（*******）（按照进气量为 ******* *、 压力恒定控制精度：********-----*.*****（±%**）＞*.*****-----******（±%**） ＞** ****------*******（±%*） *、*路供气系统，量程为甲烷 ** 氢气 *** 氩气 ****，备用的用氮气调***氮气标定精度：±*.*%**；线性：±(*.*～*.*)%*.*. 重复精度：±*.*%*.* *、*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少*米 质保期 *年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后*天内供货，**小时内上门安装培训；质保期*年；供货商出具厂家盖章售后承诺函； 配置：高温炉*台；测温偶*根；炉管*根；高温手套*副；管堵*个内*角扳手 **.* ** **各*把法兰Φ** *套 ，硅胶密封圈 内径Φ**,*个；炉管护套*副；法兰Φ***套 ，质子系统*台；恒压控制系统 *台；说明书*本。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| 广州市安恒科学仪器有限公司 | ****** | 最低价原则 | |||||
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