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气相沉积系统CVD管式炉;晶体生长CVD系统管式炉;化学气相沉积CVD系统管式炉

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标签: 广东省招标
更新时间 2023-12-16 招标单位
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申购单主题: 气相沉积系统***管式炉晶体生长***系统管式炉化学气相沉积***系统管式炉 申购单位: 深圳超滑技术研究所
申购备注: 中标商必须开具增值税专用发票
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型
气相沉积系统***管式炉 合肥科晶 **-*****-***-****** * 国内含税价/人民币
售后服务 付款方式:合同签订后支付**%,验收支付**%。
规格 *:▲ 最高温度:****℃(<**) 温区 *: 长期 ***** (*****&***;****) 建议升温速率: ≤***** 温区 *:长期 *****(*****&***;****) ( *&**; *****) **/ *** ( *&***;*******)温区*:长期 ***** (*****&***;****) 建议升温速率:*°*/ *** 建议升温速率:≤** 加热区长度: ***** (*温区: *****+*****+*****),热偶: *型(温区 *) 和*型(温区 *、*) 热偶,电源:*相 ******,****.最大**** ** 配置不少于*对 ***** 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 *▲真空系统• ***-******, 单相, **/****,压力恒定控制系统 *• 配置恒定控制系统,其范围(进气气氛为氩气): *******(* *****)-----******(* *******)(按照进气量为 *******); ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 ******* * 压力恒定控制精度:********-----*.*****(±%**)>*.*****-----******(±%**) >** ****------*******(±%*) *;*路供气系统,量程为甲烷 ** 氢气 *** 氩气 ****,备用的用氮气调***氮气标定精度:±*.*%**;线性:±(*.*~*.*)%*.*. 重复精度:±*.*%*.* *;*尾气过滤系统,干湿处理,气管不少*米 质保期 *年质保期,终身维护,售后服务:有专业安装培训工程师,中标后*天内供货,**小时内上门安装培训;质保期*年;供货商出具厂家盖章售后承诺函; 配置:高温炉*台;测温偶*根;炉管*根;高温手套*副;管堵*个炉钩*:****** *把 内*角扳手 **.* ** **各*把法兰Φ** *套 ,硅胶密封圈 内径Φ**,*个;炉管护套*副;法兰Φ***套 ,质子系统*台;恒压控制系统 *台 水机冷机*套 。说明书*本。
中标供应商 单价 初选理由
广州市安恒科学仪器有限公司 ****** 最低价原则
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型
晶体生长***系统管式炉 合肥科晶 **-*****-****** * 国内含税价/人民币
售后服务 付款方式:合同签订后支付**%,验收支付**%。
规格 *:▲额定功率:*.*** · 额定电压:****** **/**** · 额定使用温度:****℃ · 最高使用温度:****℃(≤*.**) · 建议升温速率:****℃以下:≤**℃/*** ;****℃到 ****℃:≤*℃ /***;****℃以后:≤*℃/***。 · 加热元件:硅钼棒 · 热电偶:* 型,炉腔尺寸:***** * ***** * *****; ** 配置不少于*对 ***** 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 *▲真空系统• ***-******, 单相, **/****,压力恒定控制系统 *• 配置恒定控制系统,其范围(进气气氛为氩气): *******(* *****)-----******(* *******)(按照进气量为 *******); ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 ******* * 压力恒定控制精度:********-----*.*****(±%**)>*.*****-----******(±%**) >** ****------*******(±%*) *;*路供气系统,量程为甲烷 ** 氢气 *** 氩气 ****,备用的用氮气调***氮气标定精度:±*.*%**;线性:±(*.*~*.*)%*.*. 重复精度:±*.*%*.* *;*尾气过滤系统,干湿处理,气管不少*米 质保期 *年质保期,终身维护,售后服务:有专业安装培训工程师,中标后*天内供货,**小时内上门安装培训;质保期*年;供货商出具厂家盖章售后承诺函; 配置:高温炉*台;测温偶*根;炉管*根;高温手套*副;管堵*个炉钩*:****** *把 内*角扳手 **.* ** **各*把法兰Φ** *套 ,硅胶密封圈 内径Φ**,*个;炉管护套*副;法兰Φ***套 ,质子系统*台;恒压控制系统 *台 水机冷机*套 。说明书*本。
中标供应商 单价 初选理由
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设备名称 品牌 型号 数量 报价类型
化学气相沉积***系统管式炉 合肥科晶 **-*****-****** * 国内含税价/人民币
售后服务 付款方式:合同签订后支付**%,验收支付**%。
规格 *、▲ 最高使用温度:****℃(≤*.**) ·额定使用温度:****℃ 建议升温速率:****℃以下:≤**℃/*** ;****℃到 ****℃:≤*℃ /***;****℃以后:≤*℃/***。 额定电压:****** **/**** 额定功率:*.*** 炉腔尺寸:***** * ***** * ***** ** 配置不少于*对 ***** 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 *▲真空系统• ***-******, 单相, **/****,压力恒定控制系统 *• 配置恒定控制系统,其范围(进气气氛为氩气): *******(* *****)-----******(* *******)(按照进气量为 *******); ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 ******) *、压力恒定控制精度:********-----*.*****(±%**)>*.*****-----******(±%**) >** ****------*******(±%*) *、*路供气系统,量程为甲烷 ** 氢气 *** 氩气 ****,备用的用氮气调***氮气标定精度:±*.*%**;线性:±(*.*~*.*)%*.*. 重复精度:±*.*%*.* *、*尾气过滤系统,干湿处理,气管不少*米 质保期 *年质保期,终身维护,售后服务:有专业安装培训工程师,中标后*天内供货,**小时内上门安装培训;质保期*年;供货商出具厂家盖章售后承诺函; 配置:高温炉*台;测温偶*根;炉管*根;高温手套*副;管堵*个炉钩*:****** *把 内*角扳手 **.* ** **各*把硅胶密封圈 内径Φ**,*个;炉管护套*副;法兰Φ***套 ,质子系统*台;恒压控制系统 *台 水机冷机*套 。说明书*本。
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