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原子层沉积系统

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标签: 福建省招标 研究中心
更新时间 2023-12-07 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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申购单主题: 原子层沉积系统 申购单位: 研究中心-海洋信息感知与融合团队
申购备注:
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务
原子层沉积系统 不指定品牌 不指定型号 * 国内含税价/人民币
规格 *.设备尺寸 (* * * * *): ************* *.电源:单相******/*.***/**,峰值功率 *.***/** *.前驱体:*个单管式****固体液体源接口,*条清扫气线,* 个单管式****前驱体源 *.前驱体加热器::配备*个源瓶加热器,专门设计的源瓶体加热模块,加热精度*.*º*,源瓶全自动加热最高*** º* *.装载:抽屉式样品装载,最大*寸*****;粉末样品容器(例如**钴酸锂) *.阀组:包括多组世伟洛克毫秒级***阀门,可实现全方位无死角吹扫。 *.控制:*体式工控机**.*寸,带触摸功能,带***控制的触摸屏*** *.配备工艺菜单 ,可实现实时数据记录: 配备报警及软件安全控制
中标供应商 单价 初选理由
********** ****** 最低价原则
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