更新时间 | 2023-12-07 | 招标单位 | 我要查看 |
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申购单主题: | 原子层沉积系统 | 申购单位: | 研究中心-海洋信息感知与融合团队 | ||||
申购备注: |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
原子层沉积系统 | 不指定品牌 | 不指定型号 | * | 国内含税价/人民币 | |||
规格 | *.设备尺寸 (* * * * *): ************* *.电源:单相******/*.***/**,峰值功率 *.***/** *.前驱体:*个单管式****固体液体源接口,*条清扫气线,* 个单管式****前驱体源 *.前驱体加热器::配备*个源瓶加热器,专门设计的源瓶体加热模块,加热精度*.*º*,源瓶全自动加热最高*** º* *.装载:抽屉式样品装载,最大*寸*****;粉末样品容器(例如**钴酸锂) *.阀组:包括多组世伟洛克毫秒级***阀门,可实现全方位无死角吹扫。 *.控制:*体式工控机**.*寸,带触摸功能,带***控制的触摸屏*** *.配备工艺菜单 ,可实现实时数据记录: 配备报警及软件安全控制 | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
********** | ****** | 最低价原则 |