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气相沉积系统CVD管式炉

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标签: 广东省招标 气相沉积系统 技术研究
更新时间 2023-11-21 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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申购单主题: 气相沉积系统***管式炉 申购单位: 深圳超滑技术研究所
申购备注: 中标商必须开具增值税专用发票
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务
气相沉积系统***管式炉 合肥科晶 ***-********-***-*** * 国内含税价/人民币
规格 设备名称型号气相沉积生长系统,品牌:合肥科晶,型号:***-********-***-*** *:▲ 最高温度:****℃(<**) *· 连续工作温度:****℃ *· 加热元件:掺钼铁铬铝合金 *· 升温速率:≤**℃/*** · 热电偶:* 型 *· 加热区长度:不少余*****(*****+*****+*****) ** 配置不少于*对 ***** 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 *▲真空系统• ***-******, 单相, **/****,压力恒定控制系统 *• 配置恒定控制系统,其范围(进气气氛为氩气): *******(* *****)-----******(* *******)(按照进气量为 *******); ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******) ********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 ******) * 压力恒定控制精度:********-----*.*****(±%**)>*.*****-----******(±%**) >** ****------*******(±%*) **;*炉供气系统,量程为甲烷******、氢气*******、氩气********和备用*******氮气标定精度:±*.*%**;线性:±(*.*~*.*)%*.*. 重复精度:±*.*%*.* **;*尾气过滤系统,干湿处理,气管不少*米 质保期 *年质保期,终身维护,售后服务:有专业安装培训工程师,中标后*天内供货,**小时内上门安装培训;质保期*年;供货商出具厂家盖章售后承诺函; 配置:高温炉*台;测温偶*根;炉管*根;高温手套*副;管堵*个炉钩*:****** *把 内*角扳手 **.* ** **各*把法兰Φ** *套 ,硅胶密封圈 内径Φ**,*个;炉管护套*副;说明书*本;质子系统*台;恒压控制系统 *台 。
中标供应商 单价 初选理由
************* ****** 最低价原则
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