规格 | 设备名称型号气相沉积生长系统,品牌:合肥科晶,型号:***-********-***-***
*:▲ 最高温度:****℃(<**)
*· 连续工作温度:****℃
*· 加热元件:掺钼铁铬铝合金
*· 升温速率:≤**℃/*** · 热电偶:* 型
*· 加热区长度:不少余*****(*****+*****+*****)
** 配置不少于*对 ***** 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封
*▲真空系统• ***-******, 单相, **/****,压力恒定控制系统
*• 配置恒定控制系统,其范围(进气气氛为氩气):
*******(* *****)-----******(* *******)(按照进气量为 *******);
********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******)
********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 *******)
********(****)-----*******(*******)(按照进气量为 ******)
* 压力恒定控制精度:********-----*.*****(±%**)>*.*****-----******(±%**)
>** ****------*******(±%*)
**;*炉供气系统,量程为甲烷******、氢气*******、氩气********和备用*******氮气标定精度:±*.*%**;线性:±(*.*~*.*)%*.*. 重复精度:±*.*%*.*
**;*尾气过滤系统,干湿处理,气管不少*米 质保期 *年质保期,终身维护,售后服务:有专业安装培训工程师,中标后*天内供货,**小时内上门安装培训;质保期*年;供货商出具厂家盖章售后承诺函; 配置:高温炉*台;测温偶*根;炉管*根;高温手套*副;管堵*个炉钩*:****** *把 内*角扳手 **.* ** **各*把法兰Φ** *套 ,硅胶密封圈 内径Φ**,*个;炉管护套*副;说明书*本;质子系统*台;恒压控制系统 *台 。 |