发布公告
| 更新时间 | 2022-11-27 | 招标单位 | 我要查看 |
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| 申购单主题： | 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 申购单位： | 材料科学与工程学院 | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 泰科诺 | ****** | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | *.真空腔室 φ ***× ******， ****** 优质不锈钢真空腔室， 上开门结构， 顶板焊水线； *.真空系统 复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； 分子泵 **-***/***， 抽速： ****/*； * 台 **** 直联高速旋片式真空泵： ***-**， **/* * 台 北仪优成 主阀： ***** 高真空电动插板阀 * 套 北京 前级/预抽阀： **** 气动挡板阀 * 套 泰科诺 放气阀： Φ ***， 电磁截止阀； * 套 *星华创 数显复合真空计： 两低*高， 含规管； * 套 成都 不锈钢波纹管； * 套 泰科诺 可拆卸密封采用氟橡胶圈密封； 不常拆卸密封采用金属密封 * 套 泰科诺 *.真空极限 *.*× **-***（设备空载， 抽真空 ** 小时） *.升压率 设备升压率： ≤*.***/*（** 小时平均值） ； 设备保压： 停泵 ** 小时后， 设备真空度≤****； *.抽速 从大气抽至 *.*× **-***≤*****（设备空载） ； 从大气抽至 *.*× **-***≤*****（设备空载， 干燥氮气环境） ； *.基片台 ①基片台尺寸Φ *****， 最大样品尺寸小于Φ *****； 配有基片台挡板； ②旋转转速 *～** 转/分钟， 可调可控； 基片台与腔室绝缘设计， 可加偏压电源； ③加热:室温～***± *℃（基片台环境温度） ； *** 智能温控闭环控温， 可控可调。 *.溅射靶及电源 ①配置*套*英寸永磁共焦磁控溅射靶（靶角度、 靶基距手动可调）， 向上溅射； 预留*只靶位， 磁控靶配有气动挡板结构； ②工作方式： 各靶可独立/顺次/共同工作， 采用磁控靶从下向上溅射镀膜； ③电源： 直流脉冲溅射电源 ***， 数字化控制及显示， * 台； 射频电源 ******， 数字化控制及显示， * 台； 脉冲偏压电源： -***， 数字化控制及显示， * 台。 *.工作气路系统 质量流量控制器及量程范围： **， *******； **， ******； **， ******； 质量流量控制器及量程范围： **，*******；**，******；**，******；* 路 *星华创 电磁截止阀： Φ ***； * 套 *星华创 混气管： *进*出； * 台 泰科诺 气管， 接头 * 套 北京 *.膜厚不均匀性 ≤± *%（单靶镀膜， 基片台Φ **** 范围内）； **.控制方式 ***+触摸屏控制； **.报警及保护 对缺水进行报警并执行相应保护措施； 完善的逻辑程序互锁保护系统； **.空压机 ***-Ⅱ 型 * 套 循环水机 ** * 台 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| *********** | ****** | 最低价原则 | |||||
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