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比比招标网> 中标公告 > 西北大学原子层沉积系统采购项目(三次)政府采购合同公告
| 更新时间 | 2024-12-27 | 招标单位 | 我要查看 |
| 截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
| 项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
| 关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
每天更新 70000 条招标信息
涵盖超过 1000000 家招标单位
*、合同编号：****-****-***
*、合同名称：原子层沉积系统采购项目(*次)
*、项目编号：****-****-***
*、项目名称：原子层沉积系统采购项目(*次)
*、合同主体
采购人(甲方)：****
地址：太白北路***号
联系方式：***-********
供应商(乙方)：************
地址：江西省吉安市吉水县电子商务 产业园（庐陵雅苑）主*楼
联系方式：***-********
*、合同主要信息
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) | 规格型号/服务要求 |
|---|---|---|---|---|---|
| * | 原子层沉积系统 | *(套) | ￥***,***.** | ￥***,***.** | *、设备主机 *）适用于*英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；沉积薄膜的均匀性不低于如下标准：在*英寸晶圆上沉积****薄膜（如氧化铝），以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤*%。 *）控制方式：***+触摸屏； *）多种沉积模式。 *、反应腔系统 *）反应腔材质为****不锈钢，电解抛光； *）样品台尺寸：标准*英寸腔体； *）样品台加热温度最高可达***℃，控制精度为±*℃； *）反应腔配备自动充气及过压保护功能。 *、前驱体输送系统 *）提供常温源，加热源和载气辅助源各前驱体源多路实现（至少可实现常温源*路，加热源*路，载气辅助源*路）； *）前驱体输送管路加热温度范围不低于**-***℃； *）配备各前驱体源***阀门，加热源配备耐高温阀，确保源瓶温度加热不小于**-***℃范围； *）管路及接头均采用*** **级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用真空卡套及***连接；载气管路采用**或者**气体，通过质量流量控制器控制，并实现清洗功能。 *、臭氧源系统 *）配备臭氧发生器、臭氧破坏器、***（量程*-*******）； *）臭氧发生器产量可达** */*，浓度可达*** */**； *）臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 *、真空系统 *）真空泵采用机械泵；真空产生系统优于***； *）真空测量检测范围*×**-*~**** ****； *）真空泵前热阱前端全程伴热温度范围优于**-***℃，防止过量前驱体冷凝，热阱温度范围优于**-***℃，控制精度±*℃。 *、控制系统 采用高稳定性***控制系统，实现软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有***阀门具备自动排空功能，管线具备自动清洗功能等。当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 *、验收指标 在*英寸晶圆上沉积****薄膜（如氧化铝），以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤*%。 *、服务 质保期*年，软件终身免费升级。 |
合同金额： ***,***.**元，大写(人民币)：*拾*万*仟*佰元整
履约期限：****年**月**日至****年**月**日
履约地点：****信息科学与技术学院指定地点
采购方式：竞争性谈判
*、合同签订日期
****年**月**日
*、合同公告日期
****年**月**日
*、其他补充事宜
合同：
****
****年**月**日
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