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[HF20244080]MEMS器件工艺加工成交公告

标签：北京市招标

更新时间	2024-12-18	招标单位	我要查看
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*.项目名称：****器件工艺加工

*.成交供应商名称：*****************

*.成交供应商地址：北京市海淀区双清苑*号楼*层***

*.成交金额(币种)：**.***万元

*.付款方式：合同签订后**个工作日之内预付合同金额的**%，服务完成且验收合格后**个工作日之内支付合同金额**%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	光刻：键合减薄/单面/双面光刻，图形转移	截止到**年月**日
*	*** 刻蚀：深硅刻蚀，刻蚀深度测量	截止到**年月**日
*	磁控溅射：溅射金属//**	截止到**年月**日
*	键合减薄：阳极对准键合、*** 减薄	截止到**年月**日

华中科技大学机械科学与工程学院

****年**月**日

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