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[HF20243883]基于压电单晶的高频谐振器加工成交公告

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标签: 北京市招标 压电
更新时间 2024-12-05 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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*.项目名称:基于压电单晶的高频谐振器加工

*.成交供应商名称:**************

*.成交供应商地址:北京市海淀区银桦路**号

*.成交金额(币种):**.***万元

*.付款方式:服务完成且验收合格后*个工作日之内付合同金额***%。

*.主要成交标的:

序号

服务内容

服务期限

*

******-*.****谐振器加工:

选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、晶圆背面镀膜

 

 合同签订之日起**日

*

**复合晶圆-*.****谐振器加工:

选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片

 

 合同签订之日起**日

*

**复合晶圆-*.****谐振器加工:

选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、生长****、***抛光

 

 合同签订之日起**日

 *

**复合晶圆-****谐振器加工:

选定晶向、匀胶曝光、制备金属膜、光刻套刻、金属膜增厚、划片、生长****、***抛光

合同签订之日起**日

                                                                       

 

华中科技大学集成电路学院

****年**月**日

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