4inch晶圆微电镀机（电镀系统辅助设备）

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申购单主题：	*****晶圆微电镀机（电镀系统辅助设备）	申购单位：	微电子科学与技术学院
申购备注：

设备名称		品牌	型号	数量	报价类型
*****晶圆微电镀机（电镀系统辅助设备）		凯瑞	组合	*	国内含税价/人民币
售后服务	根据行业标准提供售后服务。
规格	. **** 真空润湿单元个，型号：-***--***-。功能：槽体配合夹具设计。德国进口瓷白 ****** 材料槽体，配密封上盖。槽体分上下两个独立槽体，下部为储水槽，上部为真空润湿槽。储水槽有管道与真空润润湿槽地部连接，之间配阀门。真空润湿槽内部有夹具固定位，上部有真空接口和排气口，侧面配液位显示。配隔膜真空泵，配真空检测装置。配独立电控单元。 .**** 腐蚀活化单元个，型号：-**--。功能：德国进口瓷白 ****** 材料槽体，配密封上盖，下排液、配合夹具设计。 .**** 溢流清洗单元个，型号：-**-*-。功能：德国进口瓷白 ****** 材料槽体，配密封上盖。配合夹具设计。下部有进水口，上部有溢流口。
中标供应商		单价		初选理由
**************		*****		最低价原则

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