等离子设备

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申购单主题：	等离子设备	申购单位：	材料学院
申购备注：

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
等离子设备	**********	-*	*	国内含税价/人民币
规格	腔体材质：不锈钢表面处理，供电电源：*****，工作电流：整机工作电流不大于.（不含真空泵），射频电源功率：-*可调射频频率：****（偏移量小于.***），频率偏移量：小于.**，特性阻抗：*欧姆，自动匹配，真空度：*-*，气体路数：路气体输入，气体流量：—*/（可调），过程控制：**人机界面自动与手动方式，清洗时间：-**秒钟可调，功率大小 %-*%可调，内腔尺寸：直径*×*** ，外形尺寸：*************，重量***，真空泵台，真空室温度：小于*°，冷却方式：强制风冷。含真空泵，真空计，不锈钢通，挡板阀，卡箍，油雾过滤器，链接管。
中标供应商			单价		初选理由
**********			*****		最低价原则

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