规格 | *.*轴可调衬底载物平台 ;
*.衬底载物平台加热:常温-***℃;
*.支持真空自动吸附样品,确保转移过程中目标样品位置精确固定;真空泵电磁阀控制,按钮控制吸附样品; *.样品台具有水冷功能,能实现迅速降温 ;
*.电动面内旋转模块及控制器,最小旋转精度 *.*** 度;
*.电动样品 * 轴升降及控制器,行程范围 ****,最小行程精度 *.***。移动速率*.*****/* ~ ***/* ; *.悬臂电动 */* 两轴精密位移平台,行程范围 **** ;
*.样品台电动 */* 两轴精密位移平台,行程范围 ****;
*.电动调焦显微镜模块 ;
**.电动物镜替换模块;
**.金相显微镜 :物镜:**,***,***,***;**** 万像素高灵敏度 **** 传感器; **.可在手套箱环境中工作 ;
**.双工位手套箱,尺寸不小于长度:******;深度:******;高度:*****;箱体需定制接口(原子力显微镜数据线输出,*维材料转移设备数据输出,电源线等接口,满足*维转移设备和原子力显微镜正常工作接口); **.在标准状况下,即 **** 恒温,*个标准大气压,**.***%的惰性气源,并空箱运转下,水氧指标小于 * ***; **.箱体: 材料:*** 不锈钢,厚度 ***,内表面:不锈钢拉丝处理,外表面: 喷漆,白色 ; **.前窗: 倾斜的视窗,透明钢化安全玻璃,厚度 * ** ;
**.工作气体:氮气、氩气 ;
**.箱体照明:*** 灯,安装在每块玻璃窗前上方;
**.大过渡舱 尺寸:直径 *****, 长度 *****;小过渡舱尺寸直径 *****,长度 ***** ; **.主阀:** ** ** ,电气动角阀,控制阀:电磁集成阀,减少泄露率. |