发布公告
比比招标网> 招标公告 > 超宽禁带半导体薄膜沉积系统竞价公告
| 更新时间 | 2023-11-28 | 招标单位 | 我要查看 |
| 截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
| 项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
| 关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
每天更新 70000 条招标信息
涵盖超过 1000000 家招标单位
| 项目名称 | 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 | 项目编号 | ******-******** |
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 采购单位 | 中北大学[联系方式] | 付款条款 | 货物交付到现场，安装、调试验收合格，经验收审计完成后，学校*次性支付***%的合同款项。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 采购预算 | ￥***,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起合同生效之日起，**个工作日内完成送货日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 山西省太原市尖草坪区学院路*号 | ||
| 履约保证金 | 无 | ||
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求 | |
| 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 | 否 | 套 | * | 交货后提供至少*周现场设备使用及维护培训服务，*年内无条件免费上门维修设备且保障在**小时内及时回应，*年内免费线上进行相关技术回复； | |
| 参考品牌及型号 | 不限定品牌型号 | ||||
| 技术参数要求 | 设备主要技术参数★*真空腔室不小于φ***×******，******优质不锈钢真空腔室，上开门结构，顶板焊水线；★*、真空系统复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；★*真空极限*.*×**-***（设备空载，抽真空**小时）★*、升压率设备升压率：≤*.***/*（**小时平均值）；设备保压：停泵**小时后，设备真空度≤****；*、抽速从大气抽至*.*×**-***≤*****（设备空载）；设备配置*、复合分子泵抽速不小于*** */**、机械泵抽速不小于**/*★*、插板阀*****高真空电动插板阀*、前级/预抽阀：****气动挡板阀*个；*、放气阀：Φ***，电磁截止阀；*、进气阀Φ***，电磁截止阀；*、数显复合真空计：两低*高，含规管；★*、真空室不小于Ф***×******，采用******优质不锈钢.；采用立式、圆柱体、气缸助力上翻盖结；★*、磁控溅射室磁控靶，直径*英寸永磁靶不少于*个；**、配独立挡板，防止交叉污染；★**、基片台尺寸Φ*****，最大样品尺寸小于Φ*****驱动电机：转速*～**转/分钟，连续可调★**、基片台加热温度***℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等；**、基片台气动挡板；**、观察窗Φ****、**射频电源**** 自动匹配不少于*台；★**、直流电源*****；数字式直流电源数显可调控不少于*台；**、脉冲偏压电源：-***；不少于*台；**、总控电源 ****.**、控制面板电源******、转动控制电源步进电机、转动等控制**、电源机柜**英寸触摸屏+***，完善的逻辑程序互锁保护系统**、气路系统★**、质量流量控制器及量程范围：**，*******；**，******；**，******不少于*路；**、设备尺寸：长×宽×高为****×***×******(长宽高)，简洁美观，上面板为不锈钢罩板.**、冷水机 ****、空压机 ***-Ⅱ型**、主要氟橡胶圈**、主要无氧铜圈**、不锈钢螺钉、螺母**、水报警装置 | ||||
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