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比比招标网> 招标公告 > 半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
| 更新时间 | 2022-11-23 | 招标单位 | 我要查看 |
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半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
竞价公告(****************)
...
说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
采购单位：华南师范大学
联系人：采购用户
联系电话：****-********
*-****：*********@**.***
传真：无
联系手机：无
邮编：无
质疑电话：********
平台联系电话（异议）：***-********；*******@**.***
项目名称：
半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
竞价编号：
****************
采购类型：货物类
开始时间：****-**-** **:**:**
项目预算(元)：**,***.**
结束时间：****-**-** **:**:**
*、基本信息
| 竞价编号：**************** | |
| 项目名称：半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪 | |
| 项目预算(元)：**,***.** | 报价方式：总价报价 |
| 采购单位：华南师范大学 | 联系人：采购用户 |
| 最少报价家数：* | 联系电话：****-******** |
| 联系手机：无 | 电子邮箱：*********@**.*** |
| 异议反馈：***-********；*******@**.*** | |
| 开始时间：****-**-** **:**:** | 截止时间：****-**-** **:**:** |
邮编：无 | 平台联系电话（异议）：***-********；*******@**.*** |
采购类型：货物类 | 开始时间：****-**-** **:**:** |
项目预算(元)：**,***.** | 结束时间：****-**-** **:**:** |
*、资格条件
| 资格条件：提供原厂代理和售后授权书视为有效报价 |
*、商务要求
| 付款方式：货到验收合同后**天内支付***%款项 | |
| 交付时间： 签订合同后**天送货。 | |
| 交付地址： 华南师范大学南海校区行政楼。 | |
| 质保期及售后要求：验收后*年 | |
| 其他要求：无 |
报价人资格条件：提供原厂代理和售后授权书视为有效报价
备注：
各有关当事人对竞价成交结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起*天内提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
*、技术要求
项目名称：半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
产品信息| 序号 | 标的名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 产品类别 | 型号 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 真空等离子体处理仪 | *.** | ***** | 善准科技**-** | 是 | *、腔体材质：不锈钢*、*腔体容量（**）：Φ********、*射频电源功率：*****、*射频频率：******、频率偏移量：小于*.*****、等离子体轰击：从上往下*、*腔体内温度：＜**℃ @***秒*、清洗时间：*- **** 可调*、*功率调节：连续可调**、显示屏：*.*英寸触摸屏**、*操作控制：提供中英文操作界面，触摸屏控制**、气体流量计：高精密*路浮子流量计**、提供两路进气通路：流量 *-*****/***可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，其他混合气体）**、进气管：两路，Φ***、泄压：清洗完成自动泄压，泄压时长可调。可提供氮气或其他气体泄压通道**、噪音：≤******、抽真空时间：启动到发出辉光≤**秒**、*真空检测：触摸屏上有*键真空检测功能，数字显示**、冷却方式：风冷**、腔体门：传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金**、*真空泵控制：主机与真空泵联动，可在主机触摸屏控制真空泵开启/关闭**、供电电源：******/******、箱体平衡：减震橡胶脚杯**、外形尺寸***** ：不大于***************、需提供原厂家授权书**、配置：主机（**-**）、真空泵(***-*)、*.*米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡；外接气管*根 | ||
| 技术要求：*、腔体材质：不锈钢*、*腔体容量（**）：Φ********、*射频电源功率：*****、*射频频率：******、频率偏移量：小于*.*****、等离子体轰击：从上往下*、*腔体内温度：＜**℃ @***秒*、清洗时间：*- **** 可调*、*功率调节：连续可调**、显示屏：*.*英寸触摸屏**、*操作控制：提供中英文操作界面，触摸屏控制**、气体流量计：高精密*路浮子流量计**、提供两路进气通路：流量 *-*****/***可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，其他混合气体）**、进气管：两路，Φ***、泄压：清洗完成自动泄压，泄压时长可调。可提供氮气或其他气体泄压通道**、噪音：≤******、抽真空时间：启动到发出辉光≤**秒**、*真空检测：触摸屏上有*键真空检测功能，数字显示**、冷却方式：风冷**、腔体门：传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金**、*真空泵控制：主机与真空泵联动，可在主机触摸屏控制真空泵开启/关闭**、供电电源：******/******、箱体平衡：减震橡胶脚杯**、外形尺寸***** ：不大于***************、需提供原厂家授权书**、配置：主机（**-**）、真空泵(***-*)、*.*米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡；外接气管*根 | ||||||||
| 售后服务： | ||||||||
*、
信息
| 序号 | 名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
|---|
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