华东师范大学等离子体化学气相沉积（PECVD）、等离子增强原子层沉积系统、高分辨X射线衍射仪等设备采购项目国际招标公告(1)

上海中世建设咨询有限公司[联系方式]受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:本项目采购内容分为*个包件，投标人可对下述任*个包件或多个包件进行投标，具体如下：包件*： 等离子体化学气相沉积（*****）包件*： 等离子增强原子层沉积系统包件*： 高分辨率*-射线衍射仪包件*： 磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发镀膜系统包件*： 半导体综合测试系统-变温真空探针台包件*： 台式微纳结构高速直写系统资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备*、招标内容招标项目编号:****-************/**招标项目名称:华东师范大学[联系方式]等离子体化学气相沉积（*****）、等离子增强原子层沉积系统、高分辨*射线衍射仪等设备采购项目项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
*	磁控溅射镀膜系统	*套	*镀膜均匀性指标：*英寸靶枪在*英寸硅片镀制*****以上的薄膜，均匀性不大于+/-*%，从基片中心到基片边缘每隔*.*英寸取*个测量点（去掉***边缘），使用台阶仪对每个点测量*次，取平均值，均匀性计算公式：(((最大 – 最小) / 最大) * ***) / * = +/- 均匀性%；前级泵配置*台抽速不低于*.****的干式涡旋泵。正常运转时噪音不大于****，关闭气镇阀后极限真空可达****-*****，采用****接口；	包件*
*	电子束蒸发镀膜系统	*套	*镀膜均匀性指标：*英寸硅片镀制*****以上的薄膜，均匀性不大于+/-*%，从基片中心到基片边缘每隔*.*英寸取*个测量点（去掉***边缘），使用台阶仪对每个点测量*次，取平均值，均匀性计算公式：(((最大 – 最小) / 最大) * ***) / * = +/- 均匀性%；膜厚控制系统集成在设备控制软件内，最多可控制*个晶振传感器；	包件*

*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:*.*投标人或制造商（如适用）有效的营业执照*.*本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的唯*授权书*.*参加本次招标活动前*年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、招标文件的获取招标文件领购开始时间:****-**-**招标文件领购结束时间:****-**-**是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：上海市曹杨路***弄**号中世办公楼*楼招标部办公室招标文件售价:￥***/$**其他说明:未领购招标文件的供应商不得参加投标。招标文件发售期截止后，购买招标文件的潜在投标人少于*个的，招标人可以依法重新招标；报名须提交的下述资料:单位负责人委托书、被授权代表身份证；注：在上述时间段内至代理公司进行现场报名或微信公众号报名、领购招标文件，逾期不再办理。报名时提供的资料应与投标文件中的资格证明文件*致，如有不同，以投标文件为准。供应商可关注“中世建咨”微信公众号，主界面右下角点击“投标报名”完成微信报名登记。*、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**投标文件送达地点:上海市曹杨路***弄**号中世办公楼会议室，具体详见*楼大屏幕开标地点:上海市曹杨路***弄**号中世办公楼会议室，具体详见*楼大屏幕*、投标人在投标前应在必联网（）或机电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。*、联系方式招标人:华东师范大学[联系方式]地址:中国上海市中山北路****号联系人:刘老师联系方式:***-********招标代理机构:上海中世建设咨询有限公司[联系方式]地址:中国上海市曹杨路***弄**号联系人:赵贞、马昕雨、严飛联系方式:***-*********、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):上海银行愚园路支行招标代理机构开户银行(美元):上海银行长宁支行账号(人民币):*****************账号(美元):*******************其他:***** ****：************、其他补充说明其他补充说明:/