清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告

*、项目基本情况

项目编号：清设招第*******号

项目名称：清华大学[联系方式]等离子体刻蚀机采购项目

预算金额：***.******* 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍 ：该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。

简要技术指标 ：

真空系统：★分子泵抽速≥*****/*，干泵抽速≥****^*/*；

下电极：★满足*英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载；

软件和控制系统：★自主版权的软件，*******操作系统软件；

机台工艺能力：★主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等。

合同履行期限：合同签订后*个月内交货

本项目( 不接受  )联合体投标。

*、申请人的资格要求：

*.满足《中华人民共和国政府采购法》第***条规定；

*.落实政府采购政策需满足的资格要求：

扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等

*.本项目的特定资格要求：*）在中华人民共和国境内注册；*）符合《中华人民共和国政府采购法》第***条规定的条件；*）通过“信用中国”网站（***.***********.***.**）和中国政府采购网（***.****.***.**）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；*）不接受联合体投标；*）单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同*包号的政府采购活动；*）为某*包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；*）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。

*、获取招标文件

时间：****年**月**日  至 ****年**月**日，每天上午*:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京时间，法定节假日除外）

地点：发售网址：****://**********.****.********.***.**

方式：本项目招标文件网上发售，潜在投标人在线提供申请材料，经审核通过后获取电子版招标文件

售价：￥*.* 元，本公告包含的招标文件售价总和

*、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）

开标时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）

地点：北京市海淀区清华大学[联系方式]华业大厦实验室处*区*层第*评标室（清华大学[联系方式]东南门东侧，无须办理入校手续）

*、公告期限

自本公告发布之日起*个工作日。

*、其他补充事宜

*、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

*.采购人信息

名 称：清华大学[联系方式]　　　　　

地址：北京市海淀区清华大学[联系方式]　　　　　　　　

联系方式：李春艳 ***-********　　　　　　

*.项目联系方式

项目联系人：李春艳

电　话：　　***-********