比比招标网> 招标公告 > 浙江大学温州研究院2022年1月政府采购意向
更新时间 | 2022-01-14 | 招标单位 | 我要查看 |
截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
每天更新 70000 条招标信息
涵盖超过 1000000 家招标单位
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
* | 半导体器件光刻系统 | 包括电子束(光学)曝光机、涂胶机、清洗机、光学显微镜、桌面电极蒸镀仪及其附属小型设备,形成*套半导体器件光刻系统 | ******* | ****年**月 | |
* | 原子层沉积设备 | *. 前驱体供给系统,挥发性液态通道*个,难挥发及固态前驱体通道*个,气态前驱体通道*个;*.控制精度可达到*.**-*.*纳米/周期 *. ***反应器直径应大于等于** **,最高加热温度***度;*. ***腔体真空度达到***;*.搭配高精度真空压力表,上限****,精度不低于*.*级;*.*路流量精确控制,*-*** ****;*.*路温度控制,控制精度*℃;*. 最多实现**组阀门开关时序控制;*.搭配***反应控制程序,实现多种薄膜模式生长;**.搭配控制柜、尾气处理系统等;**.预装***膜厚在线检测系统,探测精度*.*埃;**.预留高温***反应模块接口 | ****** | ****年**月 | |
* | 飞秒激光系统 | 超快激光系统包含飞秒激光器与线性光学参量放大器。 其中飞秒激光器主要技术指标:*)最大平均功率:≥***@******-******;*)脉宽:<*****,脉宽调谐范围:*****-****;*)最大脉冲能量:*.***@*-******;*)光束质量:*****;**&**;*.*;*)基本重复频率:***—******可调;*)中心波长:****±****;*)脉冲与脉冲的稳定性:&**;*.*% *** **** ** *****(在稳定的环境下);*)输出功率稳定性:&**;*.*% **** *** *****;*)前置脉冲对比度:<*: ****;**)后置脉冲对比度:<*:***;**)光束指向稳定性:&**;**μ***/°*。 其中线性光学参量放大器主要技术指标:*)支持最大输入功率:***;*)支持最大泵浦能量:***μ*;*)波长调谐范围:***-******(信号光),****-******(闲频光),倍频后调谐范围:***-*****;*)峰值处转换效率:泵浦能量为*-****时,&**;*.*% @信号光,&**;*% @闲频光,泵浦能量为**-*****时,&**;*% @信号光,&**;*% @闲频光;*)脉冲能量稳定性:&**;*% ***@***** ;*)脉冲带宽:**-*****-*@***-*****;*)脉冲宽度:***-*****;*)激光器和光学参量放大器通过电脑软件控制。 | ******* | ****年**月 | |
* | 超快瞬态吸收光谱仪 | 其中超快瞬态吸收光谱主机主要技术指标:*)检测模式:透射/反射模式可切换 ;*)光谱探测:可见光光谱仪配高速 **** 线阵传感器 ;*)可见区白光光谱探测范围:*** - *** ** (基于 ****** 飞秒激光器) ;*)高速光学延迟线:光学延迟线最快速度 *****/*,精度*.* 微米;*)检测时间窗口:* **(可拓展至 *****);*)仪器时间响应函数 ***:*.* 倍激光脉宽;*)配斩波器保护外壳;*)可拓展近红外探测模块、微区模块、成像模块;*)包含紫外拓展模块,采用*** 晶体和蓝宝石,将白光光谱探测范围至 ***** 紫外区域;**)软件系统采用**/** 数据采集模式,可实时观测采集数据及光谱动态变化;采用**/** 数据分析模式,数据点平均、多曲线动力学比较;包含*****-**********,*点时间矫正;包含单指数、多指数、幂指数等多种模式数据拟合程序。 | ****** | ****年**月 | |
* | ***-*湿度控制气液配气系统 | 气路通道包括 * 路背景气路、* 路载气气路、* 路目标气体气路(可以作为液体配气的参比气路)和 * 路目标液体气路;* 路湿气气路(干气和湿气) | ****** | ****年**月 | |
* | ***-**光电气综合测试平台 | 电学分析系统、原位电学冷热台、静态配气模块、*** 光激发模块、可扩展功能 | ****** | ****年**月 | |
* | ***-***柔性电子综合测试平台 | 原位力电冷热台、电学分析系统、 温控模块、力电同步测量软件、*** 光激发模块、观测模块 | ****** | ****年**月 | |
* | ***-***环境可控的探针测试平台 | 综合性能分析平台,可用于气敏、湿敏、光敏、光敏气敏、***、电化学等多方向的性能研究,适合各类敏感材料、微纳器件、晶体管、*极管、功率半导体、*** 等的性能分析,特别适合 **** 器件、***器件、传感器芯片等研究 | ****** | ****年**月 | |
* | 云帆******对喷型静电纺丝 | 高压电源、*套高精尖微量泵、移动平台、环境控制精确、接收器多样化 通过更改部件可以进行纱线纺织 | ****** | ****年**月 | |
** | 多功能半导体参数测试系统 | 由测试分析仪主机、功率源测量单元模块,探针台,光源系统等组成。可对器件和材料的光电性能测试分析,可以测试薄膜晶体管,紫外探测器等多种光电器件。测量单元模块最大工作电压****,电流*.**,测试电流分辨率***,光源在紫外到可见光波段可调。 | ******* | ****年**月 | |
** | 大面积磁控溅射系统 | 磁控溅射;*英寸衬底;*靶材,共溅射;*个靶材为射频,*个靶材为直流;衬底加热最高温度***度;真空度**^-***;*路气体;计算机控制;配备冷水机;生长氧化物薄膜材料为主,也可沉积金属薄膜。 | ******* | ****年**月 |