感应耦合等离子体刻蚀机　　招标公告

*、项目名称：感应耦合等离子体刻蚀机

*、招标编号：********

*、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心[联系方式]

地址：江苏省苏州市东环路**号凌云楼****室

邮编：******                       传真：****-********

联系人：罗老师                   电话：****-********，********

电子邮箱：******@****.***.**

技术联系人：刘老师             电话：***********

电子邮箱：********@****.***.**

*、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

感应耦合等离子体刻蚀机　　*套

*. 主要配置要求

*.*能安全用于氟基及氯基气体的耐腐蚀感应耦合等离子体刻蚀机*套；

*.*需配有自动****-****系统，并且可自动进行样品取放；

*.*需带有自动压力控制系统，含进口真空计；

*.*带有独立机械泵，带耐氯气腐蚀分子泵、真空泵；

*.*含射频电源及自动匹配器、射频耦合电极及射频引入器、可调射频电极及射频引入器；

*.*含工艺气路*路，及质量流量控制器、配套减压阀；

*.*自动控制系统*套，含工控机、显示器、触屏或鼠标键盘；

*.*采用全自动化控制，也可进行手动控制用于参数实验；

*.*循环冷却水机*套；

*.**静音空气压缩机*台；

*.**氯气气瓶柜,及氯气专用尾气处理系统各*套；

*.**安全报警系统***。

*. 主要技术指标

*.* 基片尺寸：*英寸及以下；

*.* 射频功率&**;*****， **.***** 偏压功率&**;****, **.*****。

*.* 真空反应室

腔室极限真空度&**;*×**-***；

腔室系统漏气率：*×**-***.*/*；

腔室静态升压：系统停泵关机后**小时，真空度≤***；

腔室抽速：腔室充干燥**解除真空，抽气抽至*×**-***时间小于*****，至*×**-***≤*****。

*.* 典型材料刻蚀指标

**≥*****/***；

****≥*****/***；

**：**选择比≥**；

刻蚀均匀性≤±*%（Φ*英寸）；

最小刻蚀线条****；

深硅刻蚀深度≥***；

深硅刻蚀深宽比*:*。

*.*主要工艺气体配置：***、***、****、***、****、**、**、**（视具体刻蚀工艺）。

*.*电源配置

耦合电极（上电极）：**.*****，*****，自动匹配；

偏压电极（下电极）：**.*****，****，自动匹配。

*. 其他要求

*.* 质量保证期：设备最终验收交付之日算起**个月，质保期内，若设备发生故障而停止运转，质量保证期自然顺延；

*.* 质量保证期内，免费提供维修备件及服务，并应及时有效。设备发生故障后，应在收到故障信息后**小时内做出响应，并在*个工作日内排除并交付使用；

*.*供货时提供最新版本软件。在质保期内免费提供软件升级，若质保期内没有升级版本，则保证在质保期后免费升级*次；

*.*交货后在用户现场地进行安装调试，并免费进行技术培训，总培训时间不少于*天；

*.*系统在用户现场安装调试完成后进行最终验收；

*.*供货期：合同签订后*个月内。

*、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为***分,具体内容如下：

*.技术参数及整体综合性能（**分）

*.*技术参数（**分）

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

*.*.*所投标产品多项参数偏离招标要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

*.*.*所投产品不满足招标文件技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣*分。

*.*综合性能情况（**分）

*.*.*所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（*分）。其中优于功能要求的每处加*分。

*.*.*所投产品的市场反馈情况（*分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况等综合评定。

*.价格分（**分）

*.*评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分**分。

*.*其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×**分。

*.综合商务（**分）

*.* 售后与培训服务（*分）。根据投标人服务网点设置数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

*.*质保期（*分）。质保期符合招标要求的得*分，每增加*年加*分。

*.* 投标人综合实力（*分）。根据投标人的综合实力评定。

*.*标书质量（*分）。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

*.* 其他优惠措施（*分）。根据是否提供招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

*、本次招标 采用*次性报价 。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的*切费用。

*、投标文件的组成

（*）投标文件*

*、投标函

*、投标报价表

*、详细配置及分项报价清单

（*）投标文件*（ 文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理 ）

*、投标基本情况*览表

*、详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页

*、技术方案、服务承诺、培训承诺

*、资格证明文件

特别说明：

*、“投标文件*”和“投标文件*”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

*、“投标文件*”，正本*份，副本*份

“投标文件*”，正本*份，副本*份

*、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第*条“投标文件”中的具体要求执行。

*、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第**条中的要求执行。

*、招标文件价格：人民币***元（可投标时交纳），售后不退。

*、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在****年**月**日**：**前将投标确认函（格式见附件）发*****至******@****.***.**；未在苏州大学供应商库(****://****.****.***.**)注册的供应商，请在报名截止前完成注册。

**、投标文件递交时间：****年**月**日*：**～*：**；

投标文件递交地点：江苏省苏州市东环路**号凌云楼***室。

**、投标截止时间：****年**月**日*:**。

**、开标时间：****年**月**日*:**。

招标附件.***